[實(shí)用新型]一種自動(dòng)精確移位的鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720145283.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN206599604U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林正亮;宣華偉;姚林生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州華翔電子信息技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司51230
• 代理人: 王正楠

1.一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，包括由卷繞室(1)、鍍膜室(2)組成的真空室(3)，真空室(3)接通一抽真空系統(tǒng)(4)，其特征在于，鍍膜室(2)內(nèi)設(shè)置有基片架(21)、擋板(22)以及蒸發(fā)源(23)，擋板(22)設(shè)置在基片架(21)下方；所述擋板(22)為可伸縮式擋板，分為固定端(211)和自由端(212)，鍍膜室(2)內(nèi)靠近擋板(22)固定端(211)的壁體上設(shè)置有導(dǎo)軌(24)，導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置有滑塊(25)，擋板固定端(211)與滑塊(25)連接，擋板自由端(212)垂直連接有擋板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述擋板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具體包括動(dòng)力裝置(26)，與動(dòng)力裝置(26)同軸連接的滾珠絲杠(27)，滾珠絲杠(27)的配套螺母通過(guò)連接件(28)與所述擋板(22)自由端(212)連接，所述動(dòng)力裝置(26)下方還連接有移動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪(29)，移動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪(29)下方設(shè)有固定導(dǎo)軌(210)，移動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪(29)設(shè)置在固定導(dǎo)軌(210)上，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪(29)連接有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有控制器，控制器連接有輸入單元。

2.如權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，其特征在于，還包括光柵傳感組件(5)，光柵傳感組件(5)包括標(biāo)尺光柵(51)、光柵讀數(shù)頭(52)，光柵讀數(shù)頭(52)安裝在基片架(21)上，標(biāo)尺光柵(51)與所述滾珠絲杠(27)頂端連接。

3.如權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，其特征在于，所述光柵傳感組件(5)與所述控制器連接。

4.如權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，其特征在于，所述擋板固定端(211)與基片架(21)邊緣對(duì)齊。

5.如權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，其特征在于，所述基片架(21)連接有一動(dòng)力機(jī)構(gòu)(213)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(213)驅(qū)動(dòng)所述基片架(21)進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。

6.如權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)精確移位鍍膜機(jī)，其特征在于，所述蒸發(fā)源(23)為點(diǎn)式蒸發(fā)源，數(shù)量為多個(gè)且均勻地設(shè)置在基片架(21)下方。