[實用新型]真空腔觀察窗

有效

• 申請號: 201720129943.3
• 申請日: 2017-02-14
• 公開（公告）號: CN206428325U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 宋德鵬;崔慶華;喬曉杰
• 申請（專利權）人: 濟南力冠電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 山東眾成清泰律師事務所37257
• 代理人: 丁修亭

1.一種真空腔用觀察窗，包括具有管孔的腔室焊接法蘭和與該腔室焊接法蘭配裝并具有觀察孔的鎖緊法蘭，以及窗體組件，其中，管孔與觀察孔同軸線，其特征在于，管孔與鎖緊法蘭相對的一端具有第一沉孔，觀察孔與腔室焊接法蘭相對的一端具有第二沉孔；

窗體組件包括位于第一沉孔內的密封圈，以及透明窗片；

其中，透明窗片部分的納入第一沉孔，部分地納入第二沉孔，并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外，形成支撐，而使得腔室焊接法蘭與鎖緊法蘭間留有調整間隙。

2.根據權利要求1所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，所述調整間隙的厚度為透明窗片厚度的五分之一~三分之一。

3.根據權利要求1或2所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，在第二沉孔內還包括一環形墊片，該環形墊片配置在第二沉孔孔底與透明窗片間。

4.根據權利要求3所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，所述環形墊片與第二沉孔孔壁間的配合為過盈配合。

5.根據權利要求1或2所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，所述密封圈采用斷面為圓形的密封圈。

6.根據權利要求5所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，在第一沉孔的孔底形成有用于在第一沉孔軸向部分地容置密封圈的環形槽。

7.根據權利要求6所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，環形槽的槽深不大于密封圈斷面半徑，且不小于密封圈半徑的四分之三。

8.根據權利要求1或2所述的真空腔用觀察窗，其特征在于，觀察孔的內徑小于管孔內徑。