[實用新型]真空腔觀察窗

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720129943.3
• 申請日: 2017-02-14
• 公開（公告）號: CN206428325U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋德鵬;崔慶華;喬曉杰
• 申請（專利權(quán)）人: 濟(jì)南力冠電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 山東眾成清泰律師事務(wù)所37257
• 代理人: 丁修亭

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種真空腔觀察窗。

背景技術(shù)

真空觀察窗是用焊接適配器、快接法蘭、CF法蘭來封接平面平行窗口所形成的觀察窗。真空腔觀察窗種類繁多，按照使用對象不同，區(qū)分為例如無磁藍(lán)寶石真空觀察窗、激光真空觀察窗，按照基本結(jié)構(gòu)，區(qū)分為例如凹入型真空觀察窗、凹凸式真空觀察窗。本實用新型所涉及真空腔觀察窗用于MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition，即金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀，屬于氣相外延生長技術(shù)）設(shè)備，是凹凸式真空觀察窗。

常規(guī)地，例如中國專利文獻(xiàn)CN201729873U，其所公開的觀察窗屬于凹凸式真空觀察窗，其在金屬焊接法蘭的端部沉孔內(nèi)直接使用玻璃片抵住密封圈，然后再使用鎖緊法蘭鎖緊，由于玻璃片需要完全納入到沉孔內(nèi)，而不容易脫落，密封圈的變形量提前設(shè)計好，鎖緊法蘭與金屬焊接法蘭依靠端面的配合實現(xiàn)對玻璃片壓緊，對密封圈的壓緊力不能調(diào)整，密封性能相對較差。另外，隨著密封圈的老化，密封能力下降，但鎖緊法蘭不能調(diào)整壓緊力。

為提高密封能力，中國專利文獻(xiàn)CN204434724U所公開的觀察窗，在采用一種較深的凹槽結(jié)構(gòu)，在凹槽內(nèi)通過推桿安裝透光板，可以保證透光板不能脫落。其透光板無需與主設(shè)備固定，并且增加了透光板的活動范圍。然而其活動也意味著密封問題，在機(jī)械領(lǐng)域，動密封的設(shè)計難度通常都高于靜密封的設(shè)計難度，并且動密封的密封結(jié)構(gòu)也更容易損壞，換言之，其結(jié)構(gòu)相對比較復(fù)雜，后期維護(hù)相對困難。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本實用新型的目的在于提供一種在具有較高密封性能的條件下，具有較好后期維護(hù)性的真空腔觀察窗。

依據(jù)本實用新型的實施例，提供一種真空腔用觀察窗，包括具有管孔的腔室焊接法蘭和與該腔室焊接法蘭配裝并具有觀察孔的鎖緊法蘭，以及窗體組件，其中，管孔與觀察孔同軸線，管孔與鎖緊法蘭相對的一端具有第一沉孔，觀察孔與腔室焊接法蘭相對的一端具有第二沉孔；

窗體組件包括位于第一沉孔內(nèi)的密封圈，以及透明窗片；

其中，透明窗片部分的納入第一沉孔，部分地納入第二沉孔，并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外，形成支撐，而使得腔室焊接法蘭與鎖緊法蘭間留有調(diào)整間隙。

上述真空腔用觀察窗，可選地，所述調(diào)整間隙的厚度為透明窗片厚度的五分之一~三分之一。

可選地，在第二沉孔內(nèi)還包括一環(huán)形墊片，該環(huán)形墊片配置在第二沉孔孔底與透明窗片間。

可選地，所述環(huán)形墊片與第二沉孔孔壁間的配合為過盈配合。

可選地，所述密封圈采用斷面為圓形的密封圈。

可選地，在第一沉孔的孔底形成有用于在第一沉孔軸向部分地容置密封圈的環(huán)形槽。

可選地，環(huán)形槽的槽深不大于密封圈斷面半徑，且不小于密封圈半徑的四分之三。

可選地，觀察孔的內(nèi)徑小于管孔內(nèi)徑。

依據(jù)本實用新型的實施例，不同于常規(guī)的觀察窗，腔室焊接法蘭的法蘭盤與鎖緊法蘭緊密接合的結(jié)構(gòu)，在這種結(jié)構(gòu)中，密封圈的變形受腔室焊接法蘭與鎖緊法蘭自身接合面的限制。在本實用新型的實施例中腔室焊接法蘭的法蘭盤與鎖緊法蘭之間不存在直接的接合，而是留有調(diào)整間隙，從而可以通過調(diào)整法蘭連接的螺栓組或者螺釘組實現(xiàn)所需要的預(yù)緊。當(dāng)密封圈老化時，可以進(jìn)一步預(yù)緊，而達(dá)到所需要的密封接合力，從而相對而言，能夠提高密封部分的使用壽命，而其調(diào)整主要是螺栓組或者螺釘組預(yù)緊力的調(diào)整，后期維護(hù)非常方便。

附圖說明

圖1為一實施例中真空腔用觀察窗的爆炸圖。

圖2為一實施例中真空腔用觀察窗裝配圖的主剖結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1.腔室焊接法蘭，2.密封圈，3.石英玻璃片，4.四氟墊圈，5.鎖緊法蘭，6.彈簧墊圈，7.螺釘。

具體實施方式

常規(guī)地，真空腔用觀察窗，例如圖1中石英玻璃片3在真空腔用觀察窗上的裝配主要是利用法蘭連接所產(chǎn)生的約束結(jié)構(gòu)，該約束結(jié)構(gòu)主要體現(xiàn)在腔室焊接法蘭1所形成的沉孔內(nèi)。

公知地，法蘭連接一般都是以螺栓或者螺釘7為緊固件，例如螺釘7需要有一定的分布，以獲得可靠地緊固，此外，還使用圖中所示的彈簧墊圈6，以提供鎖緊。對此，均屬于機(jī)械領(lǐng)域的常規(guī)結(jié)構(gòu)，在此不再贅述。

腔室焊接法蘭1如圖1和2所示，其具備一管段和一法蘭盤，其中法蘭盤（以下單獨記為法蘭盤，此外，圖中所示的鎖緊法蘭5也是法蘭盤，為加以區(qū)分，使用鎖緊法蘭單獨表示）焊接在管段的一端，該端即為與圖中所示的鎖緊法蘭5相連接的一端。管段的另一端通常焊接在例如真空室預(yù)設(shè)的安裝座孔上。