[實用新型]一種基板的拋光裝置

有效

• 申請號: 201720125087.4
• 申請日: 2017-02-10
• 公開（公告）號: CN206677689U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 張民井;洪耀;毛成飛;曹瑞豐;郭豐;高裕弟;孫劍
• 申請（專利權）人: 棗莊維信諾電子科技有限公司
• 主分類號: B24B7/24
• 分類號: B24B7/24;B24B41/06;B24B51/00;B24B47/16;B24B41/02;B24B49/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司11250
• 代理人: 張建綱

1.一種基板的拋光裝置，其特征在于：包括：

基座，所述基座支承拋光部，所述基座上設置有放置所述基板的拋光墊；

拋光部，其包括與所述基板接觸的拋光板，所述拋光板設置于所述基座上且位于所述拋光墊的上方；

驅動部，所述驅動部固定在所述基座上，所述驅動部驅動所述拋光部直線往復運動。

2.根據權利要求1所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述拋光墊為方形墊，所述拋光板平行于所述拋光墊的一條邊設置，且其長度與所述拋光墊的所述邊相符，所述拋光板沿與所述邊垂直的另一條邊進行直線往復運動。

3.根據權利要求2所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置還包括傳動部和引導裝置，所述傳動部連接所述驅動部與所述拋光部，所述拋光部通過連接件分別與所述傳動部和所述引導裝置連接。

4.根據權利要求3所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述傳動部包括水平帶傳動裝置，所述水平帶傳動裝置包括位于所述拋光墊前后兩端的水平帶輪和沿所述拋光板運動方向設置的水平傳動帶，所述連接件的上表面與所述水平傳動帶固定連接。

5.根據權利要求4所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述引導裝置為滑軌，所述連接件的下表面設置有與所述滑軌配合的滑槽，所述滑槽內設置有與所述滑軌抵接的滾輪。

6.根據權利要求5所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述水平帶傳動裝置和所述滑軌設置在所述拋光墊的至少一側。

7.根據權利要求4所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述傳動部還包括豎向帶傳動裝置，所述豎向帶傳動裝置的一個帶輪與所述驅動部的輸出端連接，所述豎向帶傳動裝置的另一個帶輪與所述水平帶傳動裝置其中一端的主動水平帶輪同軸設置。

8.根據權利要求7所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述基座為框架體，所述驅動部設置于所述框架體內，所述框架體上表面還設有允許所述豎向傳動裝置的傳動帶通過的槽體。

9.根據權利要求4所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述拋光部還包括與所述拋光板連接的壓力調節裝置和壓力檢測件，所述壓力調節裝置控制所述拋光板與所述基板表面的接觸壓力。

10.根據權利要求1-9任意一項所述的基板的拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置的拋光液為氧化鋁拋光液。