[實用新型]用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統

有效

• 申請號: 201720121789.5
• 申請日: 2017-02-10
• 公開（公告）號: CN206476741U
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 徐剛;李瀚;周偉明;苑舉春;蔡國軍
• 申請（專利權）人: 惠州市鴻宇泰科技有限公司
• 主分類號: B67D7/54
• 分類號: B67D7/54;B67D7/02;B01D53/14
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司44102
• 代理人: 譚映華,羅志宏

1.一種用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，包括與生產槽連通并用于儲存蝕刻液的儲液裝置（1）、與生產槽連通并用于儲存生產原料的生產原料儲存罐（2）、用于回收蝕刻液裝載或蝕刻液原材料卸載過程中排放的尾氣中的生產原料的吸收裝置（3）以及用于將儲液裝置（1）中的蝕刻液抽至運輸容器中的抽液泵（4）；所述的儲液裝置（1）與輸液管連通；所述的吸收裝置（3）與第一排氣管和第二排氣管連通，第二排氣管的另一端與儲液裝置（1）連通；所述的吸收裝置（3）與第一進氣管和第二進氣管連通，第一進氣管的另一端與生產原料儲存罐（2）連通；所述的生產原料儲存罐（2）上設有進料管；所述的抽液泵（4）設置在輸液管上。

2.根據權利要求1所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的儲液裝置（1）包括多個并聯連通的儲液容器（11）。

3.根據權利要求2所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的儲液容器（11）包括設置在儲液容器（11）的底部的出液口（111）、設置在儲液容器（11）的上部的氣壓平衡孔（112）以及設置在與出液口（111）連通的輸液管上的放液閥門（113）。

4.根據權利要求3所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的與多個儲液容器（11）的出液口（111）連通的輸液管并聯連通，多個輸液管并聯連通后與抽液泵（4）連通；所述的多個儲液容器（11）的氣壓平衡孔（112）并聯連通。

5.根據權利要求1所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的生產原料儲存罐（2）包括設置在生產原料儲存罐（2）上部的進液管（21）和出氣管（22），所述的進液管（21）和出氣管（22）上均設有控制閥門。

6.根據權利要求1～5任一項所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的吸收裝置（3）包括盛放有氨氣吸收液的吸收塔（31）、設置在吸收塔（31）上部的噴淋組件（32）以及設置在吸收塔和噴淋組件（32）之間的循環泵（33）。

7.根據權利要求6所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的吸收塔（31）上設有與第一進氣管和第二進氣管連通的吸收塔進氣孔（311）、與第一排氣管和第二排氣管連通的吸收塔排氣孔（312）以及與循環泵連通的吸收液循環口（313）；所述的吸收塔進氣孔（311）設置在吸收塔的中部，位于吸收塔內的吸收液的上方；所述的吸收塔排氣孔（312）設置在吸收塔的頂部；所述的吸收液循環口（313）設置在吸收塔的底部。

8.根據權利要求7所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的噴淋組件（32）包括與循環泵（33）連通的噴淋管（321）和設置在噴淋管（321）上的多個噴淋頭（322）。

9.根據權利要求8所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的多個噴淋頭（322）均勻的設置在吸收塔（31）的上部。

10.根據權利要求9所述的用于蝕刻液裝載和蝕刻液原材料卸載的零排放裝卸系統，其特征在于，所述的循環泵（33）為高壓泵。