[實用新型]抽真空系統

有效

• 申請號: 201720119504.4
• 申請日: 2017-02-08
• 公開（公告）號: CN206477971U
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 王宏宇;黃曉霞;張國棟
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B39/10;F04B41/06
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31313
• 代理人: 蔡繼清

技術領域

本實用新型涉及真空設備，具體涉及對真空室進行抽真空的抽真空系統。

背景技術

常規的抽真空系統通常包括前級泵、主抽泵、前級閥、預抽閥以及主閥，其中前級泵經由管道與真空室的預抽口連接，該管道上設有上述預抽閥。主抽泵的抽氣口經由主閥與真空室的抽真空口連接，主抽泵的排氣口經由管道與前級泵的排氣口連接，該管道上設有前級泵。該常規抽真空系統的工作過程如下：首先關閉前級閥和主閥，開啟前級泵，開啟預抽閥，當真空室內達到預定真空度時，關閉預抽閥，然后開啟主抽泵、前級閥和主閥，繼續抽真空，直到達到所需的真空度。

采用目前的抽真空系統，通常要在10～60分鐘之后，真空室才能達到所要求的真空度。這在一些需要更快速獲得所需真空度，尤其是高真空度的應用場合中不能滿足要求

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種能夠快速獲得真空度的抽真空系統和方法，

為實現上述目的，根據本實用新型的一方面，本實用新型提供了一種抽真空系統，用于對真空室進行抽真空，其中，所述抽真空系統包括前級泵、主抽泵、預抽閥和主閥，其中所述主閥設有進口、預抽口和出口，所述主閥的進口與所述真空室的抽真空口連通，所述主閥的預抽口與所述預抽閥的入口連通，所述主閥的出口與所述主抽泵的抽氣口連通，以及所述前級泵的抽氣口經由三通接頭同時與所述主抽泵的排氣口和所述預抽閥的出口直接連通。

一實施例中，所述真空室的容積和所述前級泵的參數根據如下選擇：如果所述真空室的容積是A1L，而所述前級泵的抽速參數為B1L/S，則A1*0.5≤B1≤A1。

一實施例中，所述前級泵是機械泵，所述主抽泵是羅茨泵，以及所述預抽閥和所述主閥為氣動擋板閥。

一實施例中，所述機械泵的抽速為60L/S～120L/S，所述羅茨泵的抽速為300L/S～600L/S，所述主閥的通道口徑為DN150～250mm且所述主閥帶有口徑為DN80～160mm的預抽口。

一實施例中，前級泵為2X-70機械泵，主抽泵為ZJP-300型羅茨泵，主閥為DN160氣動擋板閥，以及預抽閥為DN100氣動擋板閥。

一實施例中，所述抽真空系統還包括控制裝置，所述控制裝置布置成根據所述真空室的真空度對所述前級泵、所述主抽泵、所述預抽閥以及所述主閥的啟閉進行控制。

一實施例中，控制系統布置成：在啟動系統時，關閉主閥，啟動前級泵并開啟預抽閥，并且在真空室的真空度達到第一預定值時啟動所述主抽泵，以及在所述真空室的真空度達到第二預定值時關閉所述預抽閥并打開所述主閥。

本申請的技術效果如下：

1、合理計算選配機械泵和羅茨泵機組后，根據真空腔體的真空度狀態，通過控制系統自動判斷真空室的真空度，合理控制各閥門的啟動和關閉的時機，達到最短的抽真空時間。

2、取消常規抽真空系統中的前級閥，節省抽氣時間，降低成本，打破常規設計行業規范。

3、主閥設置比常規同規格主閥更大的預抽口，更快速抽氣同時簡化用戶真空設計，真空室只需開一個主抽氣口，不必開預抽口。

4、在較低成本的配置下，實現在30秒內達到高工作真空度(1～20Pa)的要求。

附圖說明

圖1是根據本實用新型的一實施例的抽真空系統的結構圖。

圖2是根據本實用新型的一實施例的抽真空方法的流程圖。

具體實施方式

以下將結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細說明，以便更清楚理解本實用新型的目的、特點和優點。應理解的是，附圖所示的實施例并不是對本實用新型范圍的限制，而只是為了說明本實用新型技術方案的實質精神。

如圖1所示，抽真空系統包括前級泵1、主抽泵4、預抽閥2和主閥3，其中所述主閥3設有進口、預抽口和出口，主閥3的進口與設置于待抽真空的真空室(圖未示)上的抽真空口連通，主閥3的預抽口與預抽閥2的入口連通，主閥3的出口與主抽泵4的抽氣口連通。前級泵1的抽氣口經由三通接頭5同時與主抽泵4的排氣口和預抽閥2的出口直接連通。這里，根據需要，可以在前級泵1的抽氣口與三通接頭5還可連接有管道6。類似地，在三通接頭5與主抽泵4的排氣口之間也可連接有管道，在預抽閥2的出口與三通接頭5之間也可連接有管道。這里，前級泵1的抽氣口與主抽泵4的排氣口直接連通的意思是：在前級泵1的抽氣口與主抽泵的排氣口之間不設置前級閥，即無論是在三通接頭上，還是在三通接頭與主抽泵之間連接的管道7上，均不設置前級閥。與之對比，目前的真空手冊中，通常均要求在前級泵的抽氣口與主抽泵的排氣口之間設置前級閥。