[實用新型]抽真空系統有效
| 申請號： | 201720119504.4 | 申請日： | 2017-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN206477971U | 公開（公告）日： | 2017-09-08 |
| 發明（設計）人： | 王宏宇;黃曉霞;張國棟 | 申請（專利權）人： | 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 |
| 主分類號： | F04B37/14 | 分類號： | F04B37/14;F04B39/10;F04B41/06 |
| 代理公司： | 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31313 | 代理人： | 蔡繼清 |
| 地址： | 110179 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 系統 | ||
1.一種抽真空系統，用于對真空室進行抽真空，其特征在于，所述抽真空系統包括前級泵、主抽泵、預抽閥和主閥，其中所述主閥設有進口、預抽口和出口，所述主閥的進口與所述真空室的抽真空口連通，所述主閥的預抽口與所述預抽閥的入口連通，所述主閥的出口與所述主抽泵的抽氣口連通，以及所述前級泵的抽氣口經由三通接頭同時與所述主抽泵的排氣口和所述預抽閥的出口直接連通。
2.根據權利要求1所述的抽真空系統，其特征在于，所述真空室的容積和所述前級泵的參數根據如下選擇：如果所述真空室的容積是A1L，而所述前級泵的抽速參數為B1L/S，則A1*0.5≤B1≤A1。
3.根據權利要求1所述的抽真空系統，其特征在于，所述前級泵是機械泵，所述主抽泵是羅茨泵，以及所述預抽閥和所述主閥為氣動擋板閥。
4.根據權利要求3所述的抽真空系統，其特征在于，所述機械泵的抽速為60L/S～120L/S，所述羅茨泵的抽速為300L/S～600L/S，所述主閥的通道口徑為DN150～250mm且所述主閥帶有口徑為DN80～160mm的預抽口。
5.根據權利要求1所述的抽真空系統，其特征在于，所述抽真空系統還包括控制裝置，所述控制裝置布置成根據所述真空室的真空度對所述前級泵、所述主抽泵、所述預抽閥以及所述主閥的啟閉進行控制。
6.根據權利要求1所述的抽真空系統，其特征在于，所述前級泵為2X-70機械泵，所述主抽泵為ZJP-300型羅茨泵，所述主閥為DN160氣動擋板閥，以及所述預抽閥為DN100氣動擋板閥。
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