[實用新型]一種節能型太陽能電池硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201720112466.X
• 申請日: 2017-02-07
• 公開（公告）號: CN206422051U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 金海平
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種節能型太陽能硅片清洗裝置，其特征在于，包括機架和裝載硅片的硅片架，機架上設有縱橫排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室；第二清洗室處于第一橫列；第四清洗室、第一干燥室和第三清洗室處于第二橫列，且第一干燥室處于第四清洗室和第三清洗室之間；第五清洗室、第二干燥室、第一清洗室、第四干燥室和第九清洗室處于第三橫列，且第二干燥室處于第五清洗室和第一清洗室之間，第四干燥室處于第一清洗室和第九清洗室之間；第六清洗室、第三干燥室和第八清洗室處于第四橫列，且第三干燥室處于第六清洗室和第八清洗室之間；第七清洗室處于第五橫列；第五清洗室處于第一縱列；第四清洗室、第二干燥室和第六清洗室處于第二縱列，且第二干燥室處于第四清洗室和第六清洗室之間；第二清洗室、第一干燥室、第一清洗室、第三干燥室和第七清洗室處于第三縱列，且第一干燥室處于第二清洗室和第一清洗室之間，第三干燥室處于第一清洗室和第七清洗室之間；第三清洗室、第四干燥室和第八清洗室處于第四縱列，且第四干燥室處于第三清洗室和第八清洗室之間；第九清洗室處于第五縱列；該硅片清洗裝置還包括將硅片架在各清洗室和各干燥室之間進行移動的硅片架換位機構，硅片架換位機構包括提升硅片架的升降組件以及導軌組，升降組件的上端可滑動地固定在導軌組，升降組件的下端可拆卸地連接硅片架，導軌組通過支架固定在機架的上方；第二清洗室的進液口連接進液管二，進液管二與純水罐相連，第二清洗室的出液口連接排液管二，排液管二與廢液池相連；第四清洗室的進液口連接進液管四，進液管四與酸性溶液儲液罐一相連，進液管四依次穿設第三清洗室和第一干燥室，并延伸至第四清洗室，第四清洗室的出液口連接排液管四，排液管四依次穿設第二干燥室和第六清洗室，并與廢 液池相連；第五清洗室的進液口連接進液管五，進液管五與純水罐相連，進液管五依次穿設第四清洗室、第二干燥室，并延伸至第五清洗室，第五清洗室的出液口連接排液管五，排液管五依次穿設第二干燥室、第六清洗室、第三干燥室和第七清洗室，并與廢液池相連；第六清洗室的進液口連接進液管六，進液管六與堿性溶液儲液罐相連，進液管六依次穿設第五清洗室和第二干燥室，并延伸至第六清洗室，第六清洗室的出液口連接排液管六，排液管六依次穿設第三干燥室和第八清洗室，并與廢液池相連；第七清洗室的進液口連接進液管七，進液管七與純水罐相連，進液管七依次穿設第六清洗室、第三干燥室，并延伸至第七清洗室；第七清洗室的出液口連接排液管七，排液管七依次穿設第三干燥室、第八清洗室和第四干燥室，并延伸至第一清洗室，排液管七與第一清洗室的進液口相連；第一清洗室的出液口連接排液管一，排液管一依次穿設第一干燥室和第三清洗室，并與廢液池相連；第八清洗室的進液口連接進液管八，進液管八與酸性溶液儲液罐二相連，第八清洗室的出液口連接排液管八，進液管八依次穿設第七清洗室和第三干燥室，并延伸至第八清洗室；排液管八穿設第四干燥室并延伸至第三清洗室，排液管八與第三清洗室的進液口相連；第三清洗室的出液口連接排液管三，排液管三依次穿設第一干燥室和第四清洗室，并與廢液池相連；第九清洗室的進液口連接進液管九，進液管九與純水罐相連，第九清洗室的出液口連接排液管九，排液管九依次穿設第四干燥室、第一清洗室和第二干燥室并延伸至第五清洗室，排液管九與第五清洗室的進液口相連。

2.根據權利要求1所述的節能型太陽能硅片清洗裝置，其特征在于，導軌組包括布置在第二橫列上方的第一橫向導軌、布置在第三橫列上方的第二橫向導軌、布置在第三橫列上方的第三橫向導軌、布置在第二縱列上方的第一縱向導軌、布置在第三縱列 上方的第二縱向導軌和布置在第四縱列上方的第三縱向導軌；第一橫向導軌和第一縱向導軌垂直相交于第四清洗室的正上方；第一橫向導軌和第二縱向導軌垂直相交于第一干燥室的正上方；第一橫向導軌和第三縱向導軌垂直相交于第三清洗室的正上方；第二橫向導軌和第一縱向導軌垂直相交于第二干燥室的正上方；第二橫向導軌和第二縱向導軌垂直相交于第一清洗室的正上方；第二橫向導軌和第三縱向導軌垂直相交于第四干燥室的正上方；第三橫向導軌和第一縱向導軌垂直相交于第六清洗室的正上方；第三橫向導軌和第二縱向導軌垂直相交于第三干燥室的正上方；第三橫向導軌和第三縱向導軌垂直相交于第八清洗室的正上方。