[實用新型]一種電子級多晶硅的生產系統

有效

• 申請號: 201720111678.6
• 申請日: 2017-02-06
• 公開（公告）號: CN206735809U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 吳鋒;梁帥軍;韓鋒;楊亮
• 申請（專利權）人: 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司;江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司;江蘇中能硅業科技發展有限公司
• 主分類號: C01B33/04
• 分類號: C01B33/04;C01B33/035
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 肖明芳

1.一種電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，包括順序連接的反應精餾裝置(1)、精餾除雜裝置(2)、還原裝置(3)、尾氣回收裝置(4)和氫氣提純裝置(5)；其中尾氣回收裝置(4)連接到精餾除雜裝置(2)，氫氣提純裝置(5)連接到精餾除雜裝置(2)，所述各裝置各自獨立的包含若干個進料口和若干個出料口，前一個裝置的出料口通過管道連接到后一個裝置的進料口。

2.根據權利要求1所述的電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，所述反應精餾裝置中包含一個反應精餾塔(1000)。

3.根據權利要求2所述的電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，所述反應精餾塔(1000)的塔身自上而下依次為上塔區(1100)、中塔區(1200)和下塔區(1300)，塔身一側為進料側，塔身另一側為出料側；所述上塔區(1100)內設第一填料區(1103)，所述中塔區(1200)為篩板區，所述下塔區(1300)內設第二填料區(1301)；所述上塔區頂部進料側設有液體催化劑進料口(1101)，上塔區頂部回流區設有硅烷出料口(1102)，所述中塔區中部設有三氯氫硅進料口(1201)，所述下塔區底部設有液體出料口(1302)。

4.根據權利要求3所述的電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，所述第一填料區包含25～40塊理論板的規整填料，所述篩板區包含30～70塊塔板，所述第二填料區包含30～40塊理論板的規整填料。

5.根據權利要求3所述的電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，所述液體出料口(1302)通過管道連接到閃蒸罐(1400)，所述閃蒸罐罐底設有液體催化劑出料口(1401)，所述閃蒸罐罐頂設有出料口(1402)。

6.根據權利要求3所述的電子級多晶硅的生產系統，其特征在于，所述液體催化劑進料口(1101)之前連接有液體催化劑進料罐(1500)，所述三氯氫硅進料口(1201)之前連接有三氯氫硅進料罐(1600)。