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[實用新型]一種制備石墨烯薄膜的裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201720109875.4 申請日: 2017-02-05
公開(公告)號: CN206680186U 公開(公告)日: 2017-11-28
發(fā)明(設(shè)計)人: 張恒 申請(專利權(quán))人: 河北索蘭烯業(yè)新材料科技有限公司
主分類號: C01B32/184 分類號: C01B32/184
代理公司: 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11390 代理人: 胡劍輝
地址: 071050 河北省保定*** 國省代碼: 河北;13
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 制備 石墨 薄膜 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種制備石墨烯薄膜的裝置,其特征在于:其結(jié)構(gòu)包括磁控板(1)、直流磁環(huán)(2)、高頻框架(3)、控頻裝置(4)、光譜層(5)、離子層(6)、氧化膜層(7),所述高頻框架(3)兩端設(shè)有直流磁環(huán)(2),所述控頻裝置(4)兩側(cè)連接有磁控板(1),所述高頻框架(3)內(nèi)部設(shè)有控頻裝置(4),所述控頻裝置(4)包括氣體管體(8)、一位電極(9)、氧化管體(10)、內(nèi)框板(11)、氧化烯釋體(12)、二位電極(13),所述氣體管體(8)一端連接有一位電極(9)外側(cè),所述一位電極(9)內(nèi)側(cè)連接有氧化管體(10)一側(cè),所述氧化管體(10)內(nèi)部設(shè)有氧化烯釋體(12),所述離子層(6)連接有氧化膜層(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備石墨烯薄膜的裝置,其特征在于:所述一位電極(9)連接有內(nèi)框板(11)內(nèi)側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備石墨烯薄膜的裝置,其特征在于:所述二位電極(13)連接有內(nèi)框板(11)內(nèi)側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備石墨烯薄膜的裝置,其特征在于:所述光譜層(5)連接有離子層(6)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備石墨烯薄膜的裝置,其特征在于:所述光譜層(5)連接有氧化膜層(7)。

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