[實用新型]濕法刻蝕槽以及濕法刻蝕設備

有效

• 申請號: 201720109655.1
• 申請日: 2017-02-06
• 公開（公告）號: CN206541807U
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 劉海亮;王鵬濤;嚴清濤;許非凡
• 申請（專利權）人: 東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭集團有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L27/12
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司11283
• 代理人: 李雪,李翔

1.一種濕法刻蝕槽，其特征在于，該濕法刻蝕槽(1)包括具有進口(100)和出口(101)的槽體(10)和設置在所述出口(101)處的氣簾(11)，在所述進口(100)和所述出口(101)之間傳送有噴灑藥液的玻璃基板，所述氣簾(11)包括形成于所述氣簾(11)內部的通道，所述通道的兩端分別形成有與氣源相通的進氣口以及能夠向所述玻璃基板吹出氣體的出氣口，并且所述濕法刻蝕槽包括供給單元，所述供給單元能夠通過所述進氣口提供介質以通過所述介質沖洗所述通道。

2.根據權利要求1所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，所述供給單元包括連接所述氣簾(11)的進氣口和介質源的第一管路(60)以及設置在所述第一管路(60)上的第一控制閥(12)；所述氣簾(11)的進氣口和所述氣源通過第二管路(62)連接，所述第二管路(62)上設置有第二控制閥(13)。

3.根據權利要求1所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，所述濕法刻蝕槽(1)包括安裝在所述槽體(10)內的用于沖洗所述氣簾(11)外表面的清洗件(14)。

4.根據權利要求3所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，所述清洗件(14)位于所述氣簾(11)的上方，所述清洗件(14)包括與沿所述氣簾(11)的長度方向設置的主管(140)以及開設于所述主管(140)上的噴口(141)，所述供給單元還向所述主管(140)提供所述介質。

5.根據權利要求4所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，所述供給單元通過第三管路(61)連接所述清洗件(14)，所述第三管路(61)上設置有第三控制閥(15)。

6.根據權利要求1所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，所述濕法刻蝕槽包括安裝在所述槽體(10)中并能夠向所述玻璃基板噴灑藥液的噴灑件(16)，所述噴灑件(16)包括噴管(160)以及安裝于所述噴管(160)且與所述噴管(160)相通的噴嘴(161)。

7.根據權利要求1-6中任意一項所述的濕法刻蝕槽，其特征在于，至少在所述進口(100)和所述出口(101)處設置有玻璃感應器(17)。

8.一種濕法刻蝕設備，其特征在于，該濕法刻蝕設備包括權利要求1所述的濕法刻蝕槽(1)以及向所述濕法刻蝕槽(1)提供藥液的藥液槽(2)。

9.根據權利要求8所述的濕法刻蝕設備，其特征在于，所述濕法刻蝕槽(1)包括安裝在所述槽體(10)中并能夠向所述玻璃基板噴灑藥液的噴灑件(16)，所述噴灑件(16)包括與所述藥液槽(2)相通的噴管(160)以及安裝于所述噴管(160)且與所述噴管(160)相通的噴嘴(161)，所述噴管(160)與所述藥液槽(2)之間設置有增壓泵(5)。

10.根據權利要求8所述的濕法刻蝕設備，其特征在于，至少在所述槽體(10)的所述進口(100)和所述出口(101)處設置有玻璃感應器(17)；所述供給單元包括連接所述氣簾(11)的進氣口和介質源的第一管路(60)以及設置在所述第一管路(60)上的第一控制閥(12)；所述氣簾(11)的進氣口和所述氣源通過第二管路(62)連接，所述第二管路(62)上設置有第二控制閥(13)；所述濕法刻蝕槽(1)包括安裝在所述槽體(10)內的用于沖洗所述氣簾(11)外表面的清洗件(14)，所述供給單元通過第三管路(61)連接所述清洗件(14)，所述第三管路(61)上設置有第三控制閥(15)；

所述濕法刻蝕設備包括監控裝置(3)，所述監控裝置(3)包括控制單元，所述控制單元設置為當所述玻璃感應器(17)感應到有所述玻璃基板時，所述控制單元控制所述第一控制閥(12)和所述第三控制閥(15)關閉并控制所述第二控制閥(13)打開。

11.根據權利要求10所述的濕法刻蝕設備，其特征在于，所述監控裝置(3)包括與所述控制單元相連且用于檢測所述藥液槽(2)中藥液濃度的濃度檢測單元，所述供給單元通過第四管路(63)連接所述藥液槽(2)，所述第四管路(63)上設置有第四控制閥(4)；

所述控制單元設置為當檢測到所述藥液槽(2)中的藥液濃度超出預設波動范圍的上限值且所述玻璃感應器(17)沒有感應到所述玻璃基板時，所述控制單元控制所述第二控制閥(13)關閉并控制所述第一控制閥(12)和/或所述第三控制閥(15)打開以沖洗所述氣簾(11)；當檢測到所述藥液槽(2)中的藥液濃度超出所述預設波動范圍的上限值且所述玻璃感應器(17)感應到有所述玻璃基板時，所述控制單元控制所述第一控制閥(12)和所述第三控制閥(15)關閉并控制所述第二控制閥(13)以及所述第四控制閥(4)打開。