[實用新型]一種MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201720106652.2 | 申請日： | 2017-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN206533541U | 公開（公告）日： | 2017-09-29 |
| 發明（設計）人： | 詹竣凱;李俊;蔡孟錦 | 申請（專利權）人： | 歌爾股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,馬佑平 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 麥克風 | ||
1.一種MEMS麥克風，其特征在于：包括具有背腔的襯底(1)，在所述襯底(1)上設置有由振膜(3)和背極(5)、支撐部(4)構成的平板電容器結構；在所述振膜(3)上設置有泄壓裝置，在所述振膜(3)與背極(5)之間形成了保壓通道(31)，所述振膜(3)上的泄壓裝置構成了該保壓通道(31)的入口。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：在所述背極(5)上設置有主泄壓孔(51)，所述主泄壓孔(51)設置在背極(5)上相對遠離泄壓裝置的位置上，所述保壓通道(31)由振膜(3)、背極(5)上位于主泄壓孔(51)、泄壓裝置之間的區域圍成。
3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述主泄壓孔(51)的孔徑在5-10μm之間。
4.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓裝置位于振膜(3)的中部區域，所述主泄壓孔(51)分布在背極(5)邊緣的周向上。
5.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓裝置均勻分布在振膜(3)的邊緣位置，所述主泄壓孔(51)設置在背極(5)的中部區域。
6.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓裝置、主泄壓孔(51)分別設置在振膜(3)、背極(5)上相對的兩端。
7.根據權利要求2至6中任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于：在所述背極(5)上除主泄壓孔(51)的位置還設置有副泄壓孔(50)，且所述副泄壓孔(50)的孔徑小于主泄壓孔(51)。
8.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述背極(5)上位于保壓通道區域的副泄壓孔(50)的孔徑在2.5-5μm之間。
9.根據權利要求8所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述副泄壓孔(50)分布在距離泄壓裝置50μm的范圍內。
10.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓裝置為閥瓣結構(30)或者孔結構(32)。
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