[實用新型]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201720101992.6
• 申請日: 2017-01-26
• 公開（公告）號: CN206598016U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/046
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦,尹明花

技術領域

本實用新型涉及激光加工裝置。

背景技術

專利文獻1中記載有一種激光加工裝置，其具備保持工件的保持機構和對保持于保持機構的工件照射激光的激光照射機構。該激光加工裝置的激光照射機構中，將在從激光振蕩器到聚光透鏡的激光的光路上配置的各結構配置于1個筐體內，并將該筐體固定于豎立設置于激光加工裝置的基臺的壁部。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第5456510號公報

實用新型所要解決的課題

有時在上述那樣的激光加工裝置中設置對激光進行調制并進行反射的反射型空間光調制器。這種的情況下，將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像(反射型空間光調制器中調制的激光的像)在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像(成像)是極其重要的。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種激光加工裝置，其能夠將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像。

用于解決課題的方案

本實用新型提供一種激光加工裝置，其具備：支撐部，其支撐加工對象物；激光光源，其射出激光；反射型空間光調制器，其調制并反射激光；聚光光學系統，其使激光相對于加工對象物進行聚光；成像光學系統，其構成反射型空間光調制器的反射面和聚光光學系統的入射光瞳面處于成像關系的兩側遠心光學系統；以及，反射鏡，其將通過了成像光學系統的激光向聚光光學系統進行反射；反射型空間光調制器將激光沿著規定的平面以銳角進行反射，從反射型空間光調制器經由成像光學系統到達反射鏡的激光的光路以沿著平面的方式設定，從反射鏡到達聚光光學系統的激光的光路以沿著與平面交叉的方向的方式設定。

該激光加工裝置中，從反射型空間光調制器經由成像光學系統到達反射鏡的激光的光路以沿著規定的平面(包含對反射型空間光調制器射入射出的激光的光路的平面)的方式設定，從反射鏡到達聚光光學系統的激光的光路以沿著與該平面交叉的方向的方式設定。由此，例如，能夠使激光作為P偏振光反射向反射型空間光調制器且使激光作為S偏振光反射向反射鏡。這在將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像時是非常重要的。另外，反射型空間光調制器將激光以銳角進行反射。抑制激光相對于反射型空間光調制器的入射角及反射角在抑制衍射效率的降低且充分發揮反射型空間光調制器的性能上是非常重要的。通過以上構成，根據該激光加工裝置，可以將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像。

本實用新型的激光加工裝置中，從反射鏡到達聚光光學系統的激光的光路也可以以沿著與平面正交的方向的方式設定，反射鏡將激光以直角進行反射。由此，可以將從反射型空間光調制器到達聚光光學系統的激光的光路以直角進行處理。

本實用新型的激光加工裝置中，反射鏡也可以是二向色鏡。由此，可以將透射了二向色鏡的激光的一部分用于各種用途。

本實用新型的激光加工裝置中，反射型空間光調制器也可以將激光作為P偏振光進行反射，反射鏡將激光作為S偏振光進行反射。由此，可以將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像。

本實用新型的激光加工裝置還具備偏振光方向調整部，該偏振光方向調整部配置于從激光光源到反射型空間光調制器的激光的光路上，并調整激光的偏振光方向。由此，反射型空間光調制器可以具備將激光以銳角進行反射的功能并調整激光的偏振光方向，因此，可以將從激光光源到達反射型空間光調制器的激光的光路以直角進行處理。

實用新型效果

根據本實用新型，可以提供能夠將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像在聚光光學系統的入射光瞳面高精度地傳像的激光加工裝置。

附圖說明

圖1是用于形成改質區域的激光加工裝置的概略結構圖；

圖2是成為形成改質區域的對象的加工對象物的平面圖；

圖3是沿著圖2的加工對象物的III-III線的剖面圖；

圖4是激光加工后的加工對象物的平面圖；

圖5是沿著圖4的加工對象物的V-V線的剖面圖；

圖6是沿著圖4的加工對象物的VI-VI線的剖面圖；

圖7是實施方式的激光加工裝置的立體圖；

圖8是安裝于圖7的激光加工裝置的支撐臺的加工對象物的立體圖；

圖9是沿著圖7的ZX平面的激光輸出部的剖面圖；