[實用新型]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201720101992.6
• 申請日: 2017-01-26
• 公開（公告）號: CN206598016U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/046
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦,尹明花

1.一種激光加工裝置，其具備：

支撐部，其支撐加工對象物；

激光光源，其射出激光；

反射型空間光調制器，其調制并反射所述激光；

聚光光學系統，其使所述激光相對于所述加工對象物進行聚光；

成像光學系統，其構成所述反射型空間光調制器的反射面和所述聚光光學系統的入射光瞳面處于成像關系的兩側遠心光學系統；以及

反射鏡，其將通過了所述成像光學系統的所述激光向所述聚光光學系統進行反射，

所述反射型空間光調制器將所述激光沿著規定的平面以銳角進行反射，

從所述反射型空間光調制器經由所述成像光學系統到達所述反射鏡的所述激光的光路以沿著所述平面的方式設定，

從所述反射鏡到達所述聚光光學系統的所述激光的光路以沿著與所述平面交叉的方向的方式設定。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

從所述反射鏡到達所述聚光光學系統的所述激光的光路以沿著與所述平面正交的方向的方式設定，

所述反射鏡將所述激光以直角進行反射。

3.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，

所述反射鏡為二向色鏡。

4.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，

所述反射型空間光調制器將所述激光作為P偏振光進行反射，

所述反射鏡將所述激光作為S偏振光進行反射。

5.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其中，

所述反射型空間光調制器將所述激光作為P偏振光進行反射，

所述反射鏡將所述激光作為S偏振光進行反射。

6.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，

還具備偏振光方向調整部，該偏振光方向調整部配置于從所述激光光源到達所述反射型空間光調制器的所述激光的光路上，并調整所述激光的偏振光方向。

7.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其中，

還具備偏振光方向調整部，該偏振光方向調整部配置于從所述激光光源到達所述反射型空間光調制器的所述激光的光路上，并調整所述激光的偏振光方向。

8.根據權利要求4所述的激光加工裝置，其中，

還具備偏振光方向調整部，該偏振光方向調整部配置于從所述激光光源到達所述反射型空間光調制器的所述激光的光路上，并調整所述激光的偏振光方向。

9.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其中，

還具備偏振光方向調整部，該偏振光方向調整部配置于從所述激光光源到達所述反射型空間光調制器的所述激光的光路上，并調整所述激光的偏振光方向。