[實用新型]傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720101638.3
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN206639778U
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設計）人: 王剛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

技術領域

本實用新型涉及設備技術領域，特別是涉及一種傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術

在半導體工廠中，需要通過機械手臂(傳輸裝置)將晶圓盒(cassette或FOUP)放到機臺上，并通過另一機械手臂(傳輸裝置)將晶圓(wafer)放到機臺內部的腔中。如果機械手臂的傳送運動不平穩(wěn)，則機械手臂的震動造成晶圓震動，從而產生較多的顆粒(particle)；特別是帶動機械手臂的馬達卡死時，還需要人工地將晶圓從腔或機械手臂上取下，很容易劃傷晶圓，造成晶圓的報廢。

在現(xiàn)有技術中，只能當馬達或機械手臂出現(xiàn)異常時，進行問題部件的更換。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)，可以檢測馬達或機械手臂的傳輸裝置的運動振幅，有利于對傳輸裝置的壽命周期進行監(jiān)控。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)，用于監(jiān)控一傳輸裝置的運動振幅，所述傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)包括：

光發(fā)射器，所述光發(fā)射器發(fā)出一光；

光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及

根據所述傳輸裝置的運動改變所述光接收器接收所述光的量的彈性單元，所述彈性單元連接所述傳輸裝置。

可選的，所述傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)還包括：

移動靶，所述移動靶中設置有一槽；

當所述傳輸裝置靜止時，所述光從所述槽中穿過，并照射到所述光接收器的接收面。

可選的，所述移動靶通過所述彈性單元連接所述傳輸裝置。

可選的，所述移動靶的底端連接所述彈性單元。

可選的，所述槽為環(huán)形槽。

可選的，所述槽位于所述移動靶的側壁。

可選的，所述槽為圓環(huán)形槽或方環(huán)形槽。

可選的，所述移動靶為圓柱形或方柱形。

可選的，所述傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)還包括：

至少一改變所述光在所述槽內傳播方向的反射板。

可選的，所述反射板設置在所述移動靶外，并與所述槽相對。

可選的，所述傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)包括三個所述反射板，所述光在每個所述反射板處的傳播方向改變90°。

可選的，所述槽具有兩相鄰的斜面，當所述傳輸裝置震動時，至少部分所述光照射到所述斜面上，所述光接收器的接收面接收到的光減少或接受不到所述光。

可選的，所述槽具有一曲面，當所述傳輸裝置震動時，至少部分所述光照射到所述曲面上，所述光接收器的接收面接收到的光減少或接受不到所述光。

可選的，所述光發(fā)射器通過所述彈性單元連接所述傳輸裝置。

可選的，所述光接收器通過所述彈性單元連接所述傳輸裝置。

可選的，所述彈性單元通過一固定座固定在所述傳輸裝置上。

可選的，所述光發(fā)射器為激光發(fā)射器。

可選的，所述彈性單元為彈簧。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型提供的傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)具有以下優(yōu)點：

在本實用新型提供的傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)中，所述傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)包括光發(fā)射器、光接收器以及彈性單元，所述光發(fā)射器發(fā)出一光，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面，所述彈性單元可以根據所述傳輸裝置的運動改變所述光接收器接收所述光的量。當傳輸裝置靜止時，所述光照射到所述接收面的量多；當所述傳輸裝置移動時，所述傳輸裝置帶動所述彈性單元發(fā)生彈性形變，使所述光接收器接收所述光的量減少，因此可以根據所述光接收器接收所述光的量監(jiān)控所述傳輸裝置的運動狀況，對傳輸裝置的壽命周期進行監(jiān)控。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)的俯視圖；。

圖2為本實用新型一實施例中光在傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)中傳播時傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)的主視圖；

圖3為本實用新型一實施例中光在傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)中傳播時傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)的左視圖。

具體實施方式

如背景技術所述，現(xiàn)有的馬達或機械手臂的傳輸裝置的運動的可靠性取法評估。發(fā)明人對現(xiàn)有技術研究發(fā)現(xiàn)，傳輸裝置的壽命周期可以通過運行時震動幅度體現(xiàn)，例如，振幅小，則說明傳輸裝置還可以進行長時間的可靠運行；如果振幅大，則說明傳輸裝置有可能會出現(xiàn)異常情況。則可以通過監(jiān)控傳輸裝置的振幅，對傳輸裝置的壽命周期進行監(jiān)控。

發(fā)明人進一步研究發(fā)現(xiàn)，可以在傳輸裝置上安裝監(jiān)控振幅的傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)，通過監(jiān)控傳輸裝置的振幅，對傳輸裝置的壽命周期進行監(jiān)控。

結合上述研究，發(fā)明人提出一種傳輸裝置監(jiān)控系統(tǒng)，包括：