[實用新型]多級磁場電弧離子鍍的內襯正偏壓多孔擋板裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720092264.3
• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN209468497U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發(fā)明（設計）人: 魏永強;宗曉亞;劉學申;劉源;侯軍興;張華陽;蔣志強;馮憲章
• 申請（專利權）人: 魏永強
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.多級磁場電弧離子鍍的內襯正偏壓多孔擋板裝置，其特征在于，該裝置包括偏壓電源（1）、弧電源（2）、電弧離子鍍靶源（3）、多級磁場裝置（4）、多級磁場電源（5）、內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）、正偏壓電源（7）、樣品臺（8）、偏壓電源波形示波器（9）和真空室（10），內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）與真空室（10）和多級磁場裝置（4）之間絕緣；待處理基體工件置于真空室（10）內的樣品臺（8）上，工件和樣品臺（8）接偏壓電源（1）的負極輸出端，電弧離子鍍靶源（3）安裝在真空室（10）上，接弧電源（2）的負極輸出端，多級磁場裝置（4）的各級磁場接多級磁場電源（5）的各個輸出端，內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）接正偏壓電源（7）的正極輸出端，電弧離子鍍靶源（3）和多級磁場裝置（4）通過水冷方式避免工作過程中的溫度升高問題；內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）與多級磁場裝置（4）之間活動絕緣裝配在一起，內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）的多孔擋板間距和多級磁場裝置（4）的各級磁場長度相配合，內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）多孔擋板的外徑小于多級磁場裝置（4）的內徑；內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）配合多級磁場裝置（4）設計擋板上孔的類型、大小和擋板的間距，擋板通過螺栓連接和利用螺母進行位置固定，便于拆解組裝和清理污染物；通過內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）多孔擋板中的孔徑大小、類型變化及各級擋板的結構組合，實現(xiàn)對大顆粒的機械阻擋屏蔽；內襯正偏壓多孔型擋板裝置（6）的材料選擇無磁性、耐清理的304不銹鋼材料，所使用裝置還包括偏壓電源波形示波器（9），顯示偏壓電源（1）發(fā)出的脈沖電壓和電流波形，偏壓電源（1）輸出脈沖為單脈沖、直流脈沖復合或多脈沖復合。

2.根據(jù)權利要求1所述的多級磁場電弧離子鍍的內襯正偏壓多孔擋板裝置，其特征在于，工作氣體選用氬氣，或工作氣體選用氮氣、乙炔、甲烷、硅烷或氧氣中一種或多種的混合氣體，來制備純金屬薄膜、不同元素比例的化合物陶瓷薄膜及具有納米多層或梯度結構的薄膜。