[實用新型]一種耦合的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720091880.7
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN206447580U
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發(fā)明（設計）人: 吳鋒;田新;謝世鵬;李福中;吳鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 肖明芳

技術領域

本實用新型涉及光伏領域，更具體的，涉及多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術

現(xiàn)有電子級多晶硅生產(chǎn)大部分采用改良西門子法，在現(xiàn)有商業(yè)化生產(chǎn)裝置中，多采用熱氫化裝置作為整個系統(tǒng)中氫化工序的組成部分。因為還原、尾氣回收、熱氫化和精餾組成的系統(tǒng)并不能形成閉路循環(huán)，需要在生產(chǎn)過程中向系統(tǒng)內(nèi)補充TCS或STC原料，并排出氯化氫作為副產(chǎn)物。同時，在這類系統(tǒng)中，精餾部分通常較為簡單，對于雜質(zhì)的提純能力不強，這就要求補充的TCS或STC原料達到電子級的標準，或者需要采用多級精餾或其他方式對本系統(tǒng)中物料進行提純，這又造成裝置投資和運行成本上升。并且即使采用多級的精餾系統(tǒng)，也常常無法達到滿足電子級多晶硅生產(chǎn)的需求。以上現(xiàn)有方法，對原料采購提出的較高的標準，對于成本控制造成不利影響，并且也造成了質(zhì)量控制的風險。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)與電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)耦合的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，通過太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的精餾工段能夠提供純度較高的TCS，將其作為原料補充進入電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，以降低電子級多晶硅的生產(chǎn)成本，并減少質(zhì)量風險。

為解決上述技術問題，本實用新型采取的技術方案是：

一種耦合的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，包含太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)和電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，所述太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)包括按以下方向順序連接形成第一回路的第一精餾裝置1、太陽能級還原裝置2、第一尾氣回收裝置3和冷氫化裝置4，所述電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)包括按以下方向順序連接形成第二回路的熱氫化裝置5、熱氫化尾氣分離裝置6、第二精餾裝置7、電子級還原裝置8、第二尾氣回收裝置9、第三精餾裝置10；所述太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的第一精餾裝置1連接到電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的第二精餾裝置7，所述電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的熱氫化尾氣分離裝置6連接到太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的冷氫化裝置4。

優(yōu)選的，所述電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的第二尾氣回收裝置9連接到太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的冷氫化裝置4，所述電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的第三精餾裝置10連接到太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的太陽能級還原裝置2。

優(yōu)選的，電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中，所述第二尾氣回收裝置9連接回電子級還原裝置8，形成第三回路；所述第三精餾裝置10連接回和第二精餾裝置7，形成第四回路；所述第二精餾裝置7連接到熱氫化裝置5，所述熱氫化尾氣分離裝置6連接回熱氫化裝置5，形成第五回路；所述冷氫化裝置4連接回第一精餾裝置1形成第六回路；太陽能級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中，所述第一尾氣回收裝置3連接回太陽能級還原裝置2形成第七回路。

其中所述第二尾氣回收裝置9中包含深冷設備901、吸收塔902、解吸塔903、吸附塔904。

所述深冷設備901中部一側(cè)設有進料口90101，中部另一側(cè)設有氣相出料口90102，底部設有液相出料口90103；

所述吸收塔902具有位于塔身側(cè)壁靠下位置的第一進料口90201、位于塔身側(cè)壁靠上位置的第二進料口90202、位于塔頂?shù)牡谝怀隽峡?0203、位于塔底的第二出料口 90204；

所述解吸塔903具有位于塔身側(cè)壁中部位置的第三進料口90301和位于塔身側(cè)壁靠上位置的第四進料口90302、位于塔頂?shù)牡谌隽峡?0303、位于塔底的第四出料口 90304；

所述吸附塔904底部設有氣體入口管90401，頂部設有氣體出口管90402；

所述氣相出料口90102通過第一管道905連接第一進料口90201所述第二進料口 90202通過第二管道906和所述第四出料口90304相連；所述第一出料口90203通過第三管道907連接氣體入口管90401，所述第二出料口90204通過第四管道908與第三進料口相連90301；所述液相出料口90103通過第五管道909接入第四管道908；

所述第三出料口90303通過第六管道910順序連接塔頂換熱器911、塔頂回流罐912、回流氣動閥913和第四進料口90302，所述第六管道910在塔頂回流罐912和回流氣動閥913之間第七管道914。

優(yōu)選的，所述第二尾氣回收裝置9中還包含尾氣吸收控制系統(tǒng)，所述尾氣吸收控制系統(tǒng)包含：第一在線色譜儀915；第二在線色譜儀916；DCS控制系統(tǒng)917；