[實用新型]一種耦合的多晶硅生產系統

有效

• 申請號: 201720091880.7
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN206447580U
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 吳鋒;田新;謝世鵬;李福中;吳鵬
• 申請（專利權）人: 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 肖明芳

1.一種耦合的多晶硅生產系統，其特征在于，包含太陽能級多晶硅生產系統和電子級多晶硅生產系統，所述太陽能級多晶硅生產系統包括按以下方向順序連接形成第一回路的第一精餾裝置(1)、太陽能級還原裝置(2)、第一尾氣回收裝置(3)和冷氫化裝置(4)，所述電子級多晶硅生產系統包括按以下方向順序連接形成第二回路的熱氫化裝置(5)、熱氫化尾氣分離裝置(6)、第二精餾裝置(7)、電子級還原裝置(8)、第二尾氣回收裝置(9)、第三精餾裝置(10)；所述太陽能級多晶硅生產系統的第一精餾裝置(1)連接到電子級多晶硅生產系統的第二精餾裝置(7)，所述電子級多晶硅生產系統的熱氫化尾氣分離裝置(6)連接到太陽能級多晶硅生產系統的冷氫化裝置(4)。

2.根據權利要求1所述耦合的多晶硅生產系統，其特征在于，所述電子級多晶硅生產系統的第二尾氣回收裝置(9)連接到太陽能級多晶硅生產系統的冷氫化裝置(4)，所述電子級多晶硅生產系統的第三精餾裝置(10)連接到太陽能級多晶硅生產系統的太陽能級還原裝置(2)。

3.根據權利要求1或2所述耦合的多晶硅生產系統，其特征在于，電子級多晶硅生產系統中，所述第二尾氣回收裝置(9)連接回電子級還原裝置(8)，形成第三回路；所述第三精餾裝置(10)連接回和第二精餾裝置(7)，形成第四回路；所述第二精餾裝置(7)連接到熱氫化裝置(5)；所述熱氫化尾氣分離裝置(6)連接回熱氫化裝置(5)，形成第五回路；所述冷氫化裝置(4)連接回第一精餾裝置(1)形成第六回路；太陽能級多晶硅生產系統中，所述第一尾氣回收裝置(3)連接回太陽能級還原裝置(2)形成第七回路。

4.根據權利要求1或2所述的耦合的多晶硅生產系統，其特征在于，其中所述第二尾氣回收裝置(9)中包含深冷設備(901)、吸收塔(902)、解吸塔(903)和吸附塔(904)，

所述深冷設備(901)中部一側設有進料口(90101)，中部另一側設有氣相出料口(90102)，底部設有液相出料口(90103)；

所述吸收塔(902)具有位于塔身側壁靠下位置的第一進料口(90201)、位于塔身側壁靠上位置的第二進料口(90202)、位于塔頂的第一出料口(90203)、位于塔底的第二出料口(90204)；

所述解吸塔(903)具有位于塔身側壁中部位置的第三進料口(90301)和位于塔身側壁靠上位置的第四進料口(90302)、位于塔頂的第三出料口(90303)、位于塔底的第四出料口(90304)；

所述吸附塔(904)底部設有氣體入口管(90401)，頂部設有氣體出口管(90402)；

所述氣相出料口(90102)通過第一管道(905)連接第一進料口(90201)所述第二進料口(90202)通過第二管道(906)和所述第四出料口(90304)相連；所述第一出料口(90203)通過第三管道(907)連接氣體入口管(90401)，所述第二出料口(90204)通過第四管道(908)與第三進料口相連(90301)；所述液相出料口(90103)通過第五管道(909)接入第四管道(908)；

所述第三出料口(90303)通過第六管道(910)順序連接塔頂換熱器(911)、塔頂回流罐(912)、回流氣動閥(913)和第四進料口(90302)，所述第六管道(910)在塔頂回流罐(912)和回流氣動閥(913)之間第七管道(914)。