[實(shí)用新型]過濾裝置、真空抽氣裝置及刻蝕設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720091813.5
• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN206414873U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋亮;蔣冬華;趙吾陽;廖鵬宇;姜龍;任志明;唐成
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B01D45/08
• 分類號: B01D45/08;H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司11403
• 代理人: 王安娜,李翔

1.一種過濾裝置，其特征在于，包括支撐框架、固定架和葉片，所述葉片通過固定架設(shè)置在所述支撐框架內(nèi)，所述葉片與所述支撐框架所在平面呈一定夾角，所述葉片在所述支撐框架所在平面上的投影面積覆蓋所述支撐框架內(nèi)的通風(fēng)面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述固定架的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)固定架間隔地分布在所述支撐框架上，每個(gè)固定架上至少設(shè)置有一張葉片；或者

所述葉片的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)葉片組成同心圓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片上設(shè)有阻擋片，所述阻擋片與所述葉片所在平面呈一定夾角，所述阻擋片在所述葉片上的投影處開設(shè)有通孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片為金屬材料，所述金屬材料的表面鍍有氧化層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片與所述支撐框架所在平面的夾角為5-45°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片與所述支撐框架所在平面的夾角的角度可調(diào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述支撐框架上設(shè)置有用于將所述支撐框架固定于過濾通道的連接件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的過濾裝置，其特征在于，所述連接件為樹形卡扣。

9.一種真空抽氣裝置，其特征在于，包括真空泵、過濾通道和如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的過濾裝置，所述過濾通道與真空泵的入口連通，所述過濾裝置固定于所述過濾通道內(nèi)。

10.一種刻蝕設(shè)備，其特征在于，包括真空反應(yīng)腔室和如權(quán)利要求9所述的真空抽氣裝置，所述真空反應(yīng)腔室與真空泵通過過濾通道連通，所述過濾裝置位于所述真空反應(yīng)腔室和真空泵之間。