[實(shí)用新型]一種鏡片鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720085843.5
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN206486588U
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁志峰
• 申請（專利權(quán)）人: 中山北方晶華精密光學(xué)有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 中山市高端專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)44346
• 代理人: 鐘作亮

1.一種鏡片鍍膜裝置，包括真空腔體(3)以及放置于該真空腔體(3)內(nèi)的發(fā)射源(5)和鍍膜傘(4)，所述發(fā)射源(5)設(shè)置在真空腔體(3)的底部，所述鍍膜傘(4)設(shè)置在真空腔體(3)的頂部；所述鍍膜傘(4)包括基片安裝面(41)以及圍板(43)，所述基片安裝面(41)設(shè)置有若干基片安裝位(42)，其特征在于：所述基片安裝面(41)為平面，所述鍍膜傘(4)的上方連接旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)安裝在所述真空腔體(3)的頂部，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)在真空腔體(3)的頂部旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鏡片鍍膜裝置，其特征在于：所述真空腔體(3)的底部設(shè)置有若干支撐柱(1)，該支撐柱(1)的頂端安裝有發(fā)射源固定板(2)，所述發(fā)射源(5)安裝發(fā)射源固定板(2)的下面。