[實用新型]基于冷卻液循環的腔體零件清潔裝置

有效

• 申請號: 201720073825.5
• 申請日: 2017-01-21
• 公開（公告）號: CN206401269U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 陳來富
• 申請（專利權）人: 富曜精密組件（昆山）有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種腔體零件清潔裝置,屬于半導體零部件機械制造加工技術領域,特別用于防止加工過程中顆粒殘留對半導體制程造成污染。

背景技術

當前腔體類工件中,部份零件在完成成品加工前,腔體內已經加工到位,通過焊接或粘接等方式將腔體封住,只留下進出口，因為在繼續的加工過程中,加工鐵屑或冷卻液中細小的顆粒通過零件的進出口進入已密封的腔體內，在最終成品的腔體內會造成PARTICLE(顆粒)的殘留，進而導致在客戶端半導體制程污染，影響到晶元質量，半導體制程對于零件的加工過程中的殘留和清潔要求非常嚴格,稍有不慎就會造成重大損失。

實用新型內容

本實用新型為了克服現有技術中整體加工環境對密封腔體類零件造成的污染，提供了一種結構簡單，成本低，通用性強的腔體零件清潔裝置。

本實用新型提供了一種基于冷卻液循環的腔體零件清潔裝置，包括冷卻液循環系統和密封板，通過若干密封板密封腔體零件的腔體并且只留有供冷卻液通過的進口孔和出口孔，冷卻液循環系統的冷卻液輸出管連接腔體零件的進口孔，腔體零件的腔體構成冷卻液循環路徑的一部分,冷卻液循環系統中設有過濾裝置。

進一步優選，包括腔體零件固定裝置，所述腔體零件固定裝置由機臺、底板、固定板、壓板構成，底板通過螺栓固定在機臺上，固定板通過若干連接柱固定在底板上方，固定板上通過螺栓安裝若干壓板，壓板壓緊密封板并將腔體零件固定。通過腔體零件固定裝置可固定腔體零件，并密封通道，使腔體零件只留有冷卻液進口孔和出口孔。

進一步優選，包括一個轉接頭，轉接頭固定在氣缸的推桿上，轉接頭的進口連接冷卻液輸出管，轉接頭的出口連接腔體零件的進口孔，所述氣缸通過氣缸固定板固定在固定板下方。

進一步優選，所述冷卻液循環系統包括冷卻液泵、冷卻液儲存槽，冷卻液泵的冷卻液輸出管連接腔體零件的進口孔，腔體零件的出口孔下方設有冷卻液回收槽，冷卻液回收槽通過管路連接冷卻液儲存槽，冷卻液儲存槽連接冷卻液泵的冷卻液輸入管。通過該冷卻液循環系統使得冷卻液可循環利用。

進一步優選，所述冷卻液泵的冷卻液輸出管上安裝過濾裝置。過濾裝置雖然可安裝于冷卻液循環管路的其他位置，但是只有安裝在冷卻液泵的冷卻液輸出管上，才能最好的杜絕顆粒進入腔體零件內。

進一步優選，機臺設有若干倒T型槽，所述固定板均勻分布螺孔，底板開設多個孔。采用這樣的結構，不但方便安裝腔體零件固定裝置，方便固定腔體工件，而且便于回收冷卻液。

本實用新型利用經過過濾的冷卻液流經腔體,從而避免加工中產生的各種雜質顆粒等進入腔體零件的腔體，并且就算腔體中有顆粒也可經由冷卻液帶走，進而降低顆粒污染的風險。

附圖說明

圖1是一種腔體零件示意圖。

圖2是本實用新型的基于冷卻液循環的腔體零件清潔裝置的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖進一步詳細闡明本實用新型。

如圖1所示的腔體零件，設有腔體，和腔體相通的孔。為了防止顆粒進入腔體中，并清除腔體中的顆粒，本實用新型設計了如圖2所示的腔體零件清潔裝置，包括冷卻液循環系統、若干用于密封腔體的密封板5、腔體零件固定裝置，所述腔體零件固定裝置由機臺1、底板2、固定板3、若干壓板4構成，機臺1設有若干倒T型槽，底板2通過螺栓固定在機臺1上，固定板3通過若干連接柱固定在底板2上方，固定板3上通過螺栓安裝若干壓板4，壓板4壓緊密封板5并將腔體零件固定。通過若干密封板5密封腔體零件的腔體并且只留有供冷卻液通過的進口孔和出口孔，冷卻液循環系統的冷卻液輸出管連接腔體零件的進口孔5，腔體零件的腔體構成冷卻液循環路徑的一部分。通過冷卻液循環帶走腔體中的顆粒。

更具體的是，所述冷卻液循環系統包括冷卻液泵、冷卻液儲存槽，冷卻液泵的冷卻液輸出管連接腔體零件的進口孔，腔體零件的出口孔下方設有冷卻液回收槽，冷卻液回收槽通過管路連接冷卻液儲存槽，冷卻液儲存槽連接冷卻液泵的冷卻液輸入管。

要使冷卻液可以清潔腔體，首先必須保證冷卻液清潔，因此所述冷卻液泵的冷卻液輸出管上安裝過濾裝置，通過過濾裝置凈化冷卻液，過濾裝置也可以安裝循環路徑的其他地方。

為了方便連接冷卻液輸出管，采用一個如圖2所示的轉接頭8，轉接頭8固定在氣缸6的推桿上，轉接頭8的進口連接冷卻液泵的冷卻液輸出管，轉接頭8的出口連接腔體零件的進口孔，所述氣缸6通過氣缸固定板7固定在固定板3下方，可以采用螺釘連接固定。