[實(shí)用新型]基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720073825.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN206401269U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳來富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富曜精密組件（昆山）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：包括冷卻液循環(huán)系統(tǒng)和密封板，通過若干密封板密封腔體零件的腔體并且只留有供冷卻液通過的進(jìn)口孔和出口孔，冷卻液循環(huán)系統(tǒng)的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔，腔體零件的腔體構(gòu)成冷卻液循環(huán)路徑的一部分,冷卻液循環(huán)系統(tǒng)中設(shè)有過濾裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：包括腔體零件固定裝置，所述腔體零件固定裝置由機(jī)臺(tái)、底板、固定板、壓板構(gòu)成，底板通過螺栓固定在機(jī)臺(tái)上，固定板通過若干連接柱固定在底板上方，固定板上通過螺栓安裝若干壓板，壓板壓緊密封板并將腔體零件固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：包括一個(gè)轉(zhuǎn)接頭，轉(zhuǎn)接頭固定在氣缸的推桿上，轉(zhuǎn)接頭的進(jìn)口連接冷卻液輸出管，轉(zhuǎn)接頭的出口連接腔體零件的進(jìn)口孔，所述氣缸通過氣缸固定板固定在固定板下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：所述冷卻液循環(huán)系統(tǒng)包括冷卻液泵、冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液泵的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔，腔體零件的出口孔下方設(shè)有冷卻液回收槽，冷卻液回收槽通過管路連接冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液儲(chǔ)存槽連接冷卻液泵的冷卻液輸入管。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：所述冷卻液泵的冷卻液輸出管上安裝過濾裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，其特征在于：機(jī)臺(tái)設(shè)有若干倒T型槽，所述固定板均勻分布螺孔，底板開設(shè)多個(gè)孔。