[實用新型]掃描電鏡EBSD樣品臺

有效

• 申請號: 201720070281.7
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN206460075U
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 汪炳叔;張鼎;楊容;吳詩萍;劉慧敏
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: G01Q30/20
• 分類號: G01Q30/20;G01Q30/02
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司35100
• 代理人: 蔡學俊

技術領域

本實用新型涉及一種掃描電鏡EBSD樣品臺,屬于多功能掃描電鏡測量領域。

背景技術

近年來，裝配在掃描電子顯微鏡（SEM）上的電子背散射衍射花樣（Electron Back-scattering Patterns，簡稱EBSP）晶體微區取向和晶體結構的分析技術取得了較大發展，該技術也被稱為電子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，簡稱EBSD）或取向成像顯微技術（Orientation Imaging Microscopy，簡稱OIM）等等，成為研究材料形變、回復和再結晶過程的有效手段。

EBSD技術是目前材料微觀組織研究領域常用的表征手段，測試表征時需要樣表征面與水平面的夾角為70°。目前商用的EBSD樣品臺功能單一，一般一次只能裝載一個樣品進行測試，樣品的高度無法調節，對樣品的厚度有限制，且測試效率低，極大的限制了材料微觀表征的效果。

發明內容

本實用新型的目的是針對以上不足之處，提供了一種掃描電鏡EBSD樣品臺。

本實用新型解決技術問題所采用的方案是，一種掃描電鏡EBSD樣品臺，包括樣品臺主體，所述樣品臺主體前側面設置有若干個相互獨立的放置空腔，所述放置空腔內設置有載物臺，所述樣品臺主體后側設置有螺絲，每個放置空腔底面中部設置有貫穿樣品臺主體的螺孔，螺絲前端貫穿螺孔后伸入放置空腔內并抵靠載物臺后側面，螺絲與螺孔螺紋配合，所述樣品臺主體下方設置有折桿，所述折桿包括豎直桿，豎直桿下部設置有插接柱，豎直桿上部設置有斜桿，斜桿與豎直面的夾角為70度，樣品臺主體安裝在斜桿與上，樣品臺主體下側面與斜桿平行，樣品臺主體前側面、載物臺前側面與斜桿垂直。

進一步的，所述樣品臺主體為長方體。

進一步的，所述載物臺呈臺階狀，載物臺后部周側向外突出由凸部。

進一步的，所述放置空腔前部設置有用以擋住凸部的限位部。

進一步的，所述載物臺與放置空腔側壁之間的間隙不超過1mm。

進一步的，所述螺絲前端與載物臺轉動連接。

進一步的，所述載物臺后側面中部設置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內。

進一步的，所述載物臺前側面涂覆有導電膠。

進一步的，所述樣品臺主體、載物臺、折桿均與鋁合金材質。

進一步的，所述放置空腔不少于3個。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：結構簡單，設計合理，操作方便，適用性廣、針對性強、不易損壞，可實現多個厚度不均樣品同時裝載并能靈活調整每個樣品高度的功能，適用于不同厚度的樣品調整高度對齊。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型專利進一步說明。

圖1為該實用新型的結構示意圖一；

圖2為該實用新型的結構示意圖二；

圖3為載物臺與放置空腔的配合結構示意圖。

圖中：

1-樣品臺主體；2-放置空腔；201-限位部；3-載物臺；301-凸部；4-螺絲；5-折桿；501-斜桿；502-豎直桿；503-插接柱。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進一步說明。

如圖1-3所示，一種掃描電鏡EBSD樣品臺，包括樣品臺主體1，所述樣品臺主體1前側面設置有若干個相互獨立的放置空腔2，所述放置空腔2內設置有載物臺3，所述樣品臺主體1后側設置有螺絲4，每個放置空腔底面中部設置有貫穿樣品臺主體1的螺孔，螺絲4前端貫穿螺孔后伸入放置空腔2內并抵靠載物臺3后側面，螺絲4與螺孔螺紋配合，所述樣品臺主體1下方設置有折桿5，所述折桿5包括豎直桿502，豎直桿502下部設置有插接柱503，豎直桿502上部設置有斜桿501，斜桿501與豎直面的夾角為70度，樣品臺主體1安裝在斜桿501與上，樣品臺主體1下側面與斜桿501平行，樣品臺主體1前側面、載物臺3前側面與斜桿501垂直。

在本實施例中，所述樣品臺主體1為長方體。

在本實施例中，所述載物臺3呈臺階狀，載物臺3后部周側向外突出由凸部301。

在本實施例中，所述放置空腔2前部設置有用以擋住凸部301的限位部201。

在本實施例中，所述載物臺3與放置空腔2側壁之間的間隙不超過1mm。

在本實施例中，所述螺絲4前端與載物臺3轉動連接。

在本實施例中，所述載物臺3后側面中部設置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內。

在本實施例中，所述載物臺3前側面涂覆有導電膠。