[實用新型]掃描電鏡EBSD樣品臺

有效

• 申請號: 201720070281.7
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN206460075U
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 汪炳叔;張鼎;楊容;吳詩萍;劉慧敏
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: G01Q30/20
• 分類號: G01Q30/20;G01Q30/02
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司35100
• 代理人: 蔡學俊

1.一種掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：包括樣品臺主體，所述樣品臺主體前側面設置有若干個相互獨立的放置空腔，所述放置空腔內設置有載物臺，所述樣品臺主體后側設置有螺絲，每個放置空腔底面中部設置有貫穿樣品臺主體的螺孔，螺絲前端貫穿螺孔后伸入放置空腔內并抵靠載物臺后側面，螺絲與螺孔螺紋配合，所述樣品臺主體下方設置有折桿，所述折桿包括豎直桿，豎直桿下部設置有插接柱，豎直桿上部設置有斜桿，斜桿與豎直面的夾角為70度，樣品臺主體安裝在斜桿與上，樣品臺主體下側面與斜桿平行，樣品臺主體前側面、載物臺前側面與斜桿垂直。

2.根據權利要求1所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述樣品臺主體為長方體。

3.根據權利要求2所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述載物臺呈臺階狀，載物臺后部周側向外突出由凸部。

4.根據權利要求2所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述放置空腔前部設置有用以擋住凸部的限位部。

5.根據權利要求4所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述載物臺與放置空腔側壁之間的間隙不超過1mm。

6.根據權利要求5所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述螺絲前端與載物臺轉動連接。

7.根據權利要求6所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述載物臺后側面中部設置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內。

8.根據權利要求1-7任意一項所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述載物臺前側面涂覆有導電膠。

9.根據權利要求1-7任意一項所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述樣品臺主體、載物臺、折桿均與鋁合金材質。

10.根據權利要求1-7任意一項所述的掃描電鏡EBSD樣品臺，其特征在于：所述放置空腔不少于3個。