[實用新型]刻蝕機的下電極載片臺

有效

• 申請號: 201720064444.0
• 申請日: 2017-01-19
• 公開（公告）號: CN206432233U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 車東辰;李娜;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司11511
• 代理人: 孟海娟

1.一種刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

包括上載臺和下載臺，兩者相互連接，其中，所述上載臺用于放置晶圓，所述上載臺的下表面開有冷卻液循環槽，所述上載臺的上表面設有冷卻氣體分流槽和冷卻氣體出氣孔，所述下載臺中心設有通孔以與刻蝕機的頂針機構匹配安裝，具有冷卻液入口、冷卻液出口和冷卻氣體進氣孔，所述冷卻液入口和所述冷卻液出口均與所述冷卻液循環槽相連通，

在對下電極進行冷卻時，冷卻液從所述下載臺的冷卻液入口進入所述上載臺的冷卻液循環槽內，而后從所述下載臺的冷卻液出口流出，

對所述上載臺表面的晶圓進行冷卻時，冷卻氣體從所述下載臺的冷卻氣體進氣孔進入，從所述上載臺的冷卻氣體出氣孔通過，并向所述冷卻氣體分流槽內擴散。

2.根據權利要求1所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述冷卻氣體分流槽為多個同心環形槽，并且通過徑向槽相互連通。

3.根據權利要求1所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述冷卻氣體出氣孔呈環形分布。

4.根據權利要求2所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述冷卻氣體出氣孔位于所述冷卻氣體分流槽的最內側的環形槽上。

5.根據權利根據權利要求3或4所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述冷卻氣體出氣孔均勻分布。

6.根據權利要求1所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

在所述上載臺的上表面的邊緣區域設置有晶圓止滑區。

7.根據權利要求6所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述晶圓止滑區包括環形下沉臺階和粘性薄膜，所述環形下沉臺階位于所述上載臺的上表面的邊緣，所述粘性薄膜配置于所述環形臺階上，所述粘性薄膜的厚度與所述環形下沉臺階的高度相同。

8.根據權利要求7所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述環形下沉臺階的寬度為5～10mm，高度為0.1～0.3mm。

9.根據權利要求7所述刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述粘性薄膜為聚酰亞胺薄膜。

10.根據權利要求1所述的刻蝕機的下電極載片臺，其特征在于，

所述上載臺與所述下載臺通過螺栓緊固連接。