[實用新型]一種磁控濺射儀

有效

• 申請號: 201720046804.4
• 申請日: 2017-01-16
• 公開（公告）號: CN206502857U
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發明（設計）人: 侯則良
• 申請（專利權）人: 福建省諾希科技園發展有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 福州市鼓樓區鼎興專利代理事務所(普通合伙)35217
• 代理人: 劉建功

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜裝置，具體涉及一種磁控濺射儀。

背景技術

濺射鍍膜是目前薄膜制備中應用最為廣泛的方法之一,這是由于濺射法制膜具有許多優點,如可通過控制反應氣體的種類、濃度、濺射功率、襯底 溫度、濺射壓強等條件,較容易地控制膜的組分和結晶狀態。同時,濺射制膜易于大規模工業化生產,制備工藝簡單,薄膜造價較低等。現有的磁控濺射儀存在明顯不足，由于分子泵工作時需要通過水進行冷卻，當停水或者低水壓時，如果濺射儀還在繼續工作，分子泵將會沒有得到冷卻從而被燒毀。這就使得在任何時刻都必須有工作人員對其進行監控，這將浪費大量人力、物力。這就造成工作效率較為低下。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種在缺水或者停水狀態下能夠自動停止工作的磁控濺射儀，解決現有磁控濺射儀在缺水或者停水的時候會將分子泵燒毀的問題。

本實用新型所采取的技術方案為：一種磁控濺射儀，包括濺射室、預處理室、磁力傳遞桿、機械泵、分子泵和冷卻水管，濺射室和處理室之設有閥板，預處理室和磁力傳遞桿相連，預處理室還與機械泵和分子泵相連，分子泵與冷卻水管相連，冷卻水管進水處設有水位檢測開關，所述水位檢測開關包括殼體、殼體內設有水管，水管上設有一受其內水壓可上下運動的活塞，活塞上端部設有一具有導電能力的頂針，頂針上方設有一具有導電能力的彈片，頂針和彈片串接在分子泵的電源線的L線上，這種磁控濺射儀在使用過程中，冷卻水管內的水正常時，水流通過水位檢測開關，活塞受到水的壓強作用向上浮起，頂針與彈片連通，分子泵通電正常工作，當冷卻水管內的水不夠或者斷流的時候，活塞受重力影響而落下，頂針和彈片斷開，分子泵就停止工作，通過水位檢測開關檢測冷卻水是否正常，從而控制分子泵的開關，防止分子泵被燒毀。

所述殼體和活塞均為絕緣體，防止漏電，增強了設備的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型磁控濺射儀的結構示意圖。

具體實施方式

現在結合說明書附圖對本實用新型進一步詳細說明。

如圖1所示：一種磁控濺射儀，包括濺射室1、預處理室2、磁力傳遞桿3、機械泵4、分子泵5和冷卻水管6，濺射室1和預處理室2之設有閥板7，預處理室2和磁力傳遞桿3相連，預處理室2還與機械泵4和分子泵5相連，分子泵5與冷卻水管6相連，冷卻水管6進水處61設有水位檢測開關7，所述水位檢測開關7包括殼體71、殼體71內設有水管72，水管72上設有一受其內水壓可上下運動的活塞73，活塞73上端部設有一具有導電能力的頂針74，頂針74上方設有一具有導電能力的彈片75，頂針74和彈片75串接在分子泵5的電源線51的L線上，這種磁控濺射儀在使用過程中，冷卻水管內的水正常時，水流通過水位檢測開關，活塞受到水的壓強作用向上浮起，頂針與彈片連通，分子泵通電正常工作，當冷卻水管內的水不夠或者斷流的時候，活塞受重力影響而落下，頂針和彈片斷開，分子泵就停止工作，通過水位檢測開關檢測冷卻水是否正常，從而控制分子泵的開關，防止分子泵被燒毀。

所述殼體71和活塞73均為絕緣體，防止漏電，增強了設備的安全性。