[實(shí)用新型]一種磁控濺射儀有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720046804.4 | 申請(qǐng)日: | 2017-01-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN206502857U | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-09-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 侯則良 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 福建省諾希科技園發(fā)展有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C23C14/35 | 分類(lèi)號(hào): | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司: | 福州市鼓樓區(qū)鼎興專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)35217 | 代理人: | 劉建功 |
| 地址: | 350000 福建省*** | 國(guó)省代碼: | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 磁控濺射 | ||
1.一種磁控濺射儀,包括濺射室、預(yù)處理室、磁力傳遞桿、機(jī)械泵、分子泵和冷卻水管,濺射室和處理室之設(shè)有閥板,預(yù)處理室和磁力傳遞桿相連,預(yù)處理室還與機(jī)械泵和分子泵相連,分子泵與冷卻水管相連,冷卻水管進(jìn)水處設(shè)有水位檢測(cè)開(kāi)關(guān),其特征在于:所述水位檢測(cè)開(kāi)關(guān)包括殼體、殼體內(nèi)設(shè)有水管,水管上設(shè)有一受其內(nèi)水壓可上下運(yùn)動(dòng)的活塞,活塞上端部設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的頂針,頂針上方設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的彈片,頂針和彈片串接在分子泵的電源線的L線上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種磁控濺射儀,其特征在于:所述殼體和活塞均為絕緣體。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





