[實(shí)用新型]一種磁控濺射儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720046804.4
• 申請(qǐng)日: 2017-01-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206502857U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯則良
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建省諾希科技園發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 福州市鼓樓區(qū)鼎興專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)35217
• 代理人: 劉建功

1.一種磁控濺射儀，包括濺射室、預(yù)處理室、磁力傳遞桿、機(jī)械泵、分子泵和冷卻水管，濺射室和處理室之設(shè)有閥板，預(yù)處理室和磁力傳遞桿相連，預(yù)處理室還與機(jī)械泵和分子泵相連，分子泵與冷卻水管相連，冷卻水管進(jìn)水處設(shè)有水位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，其特征在于：所述水位檢測(cè)開(kāi)關(guān)包括殼體、殼體內(nèi)設(shè)有水管，水管上設(shè)有一受其內(nèi)水壓可上下運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞上端部設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的頂針，頂針上方設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的彈片，頂針和彈片串接在分子泵的電源線的L線上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種磁控濺射儀，其特征在于：所述殼體和活塞均為絕緣體。