[實用新型]帶有抽真空系統(tǒng)的平板式PECVD進料腔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720030341.2
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206418198U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發(fā)明（設計）人: 傅林堅;石剛;洪昀;吳威;高振波;王偉星;祝廣輝
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;C23C16/455
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種帶有抽真空系統(tǒng)的平板式PECVD進料腔，該進料腔呈中空狀；其特征在于，在進料腔的底部設有多條氣道，各氣道的一端在進料腔底部中央交匯互通形成中心出口；各氣道的另一端則均勻分布在進料腔底部的四周，且僅在該端部設置連接進料腔的氣道入口；所述中心出口通過真空管道連接至真空泵，在中心出口與真空管道相接處設過濾網(wǎng)。

2.根據(jù)權利要求1所述的平板式PECVD進料腔，其特征在于，所述氣道是設在進料腔底部的凹陷的條形槽，各氣道及中心出口的上部設蓋板使進料腔的底部保持平面狀態(tài)。

3.根據(jù)權利要求1所述的平板式PECVD進料腔，其特征在于，所述氣道有四條且呈十字形布置，或者氣道有八條且呈米字形布置。

4.根據(jù)權利要求1至3任意一項中所述的平板式PECVD進料腔，其特征在于，所述真空管道上設有角閥。

5.根據(jù)權利要求2所述的平板式PECVD進料腔，其特征在于，所述氣道上部的蓋板與中心出口上部的蓋板是分離式的。