[實用新型]一種單晶爐裝爐裝置

有效

• 申請號: 201720026918.2
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206396352U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 楊向東;李玉平;侯利偉;李曉
• 申請（專利權）人: 新鄉市神舟晶體科技發展有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐領域，尤其涉及一種單晶爐裝爐裝置。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生長無錯位單晶的設備。現有的單晶爐主要由提拉頭、副室、爐蓋、爐筒、下爐筒、底座機架、坩堝下傳動裝置和熱場等組成。熱場包括壓環、保溫蓋、保溫罩、石墨坩堝、石英坩堝、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、螺栓等。石英坩堝設置在石墨坩堝內部，由加熱器將石英坩堝內的多晶硅等多晶材料熔化。 單晶爐裝爐是指裝入石英坩堝等所有拉晶必須的原輔材料。現有的單晶爐裝爐工序中石英坩堝的安裝往往由工作人員手動完成，工作人員戴上手套，將石英坩堝搬起運送至石墨坩堝上方，然后將石英坩堝放置在石墨坩堝內，傳統的人工搬運工作強度大，且搬運安裝過程中極易發生石英坩堝掉落、磕碰等損壞，造成企業損失。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種單晶爐裝爐裝置，能夠快速安全的進行石英坩堝的搬運及安裝，提高工作效率，降低勞動強度，避免石英坩堝損壞。

本實用新型采用下述技術方案：

一種單晶爐裝爐裝置，包括吊架、石英坩堝外側固定裝置和石英坩堝上端固定裝置；

所述的吊架包括移動底座、豎直升降桿、水平移動桿和吊繩，移動底座上設置有豎直升降桿驅動裝置，豎直升降桿由豎直升降桿驅動裝置驅動，豎直升降桿的活動端設置有水平移動桿驅動裝置，水平移動桿由水平移動桿驅動裝置驅動，水平移動桿的活動端設置有吊繩，吊繩前端設置有吊鉤；

所述的石英坩堝外側固定裝置包括多組弧形卡盤，每組弧形卡盤的內弧面均與石英坩堝外表面的弧面相匹配，每組弧形卡盤的左右兩側均設置有連接板，連接板上開設有連接孔，相鄰兩組弧形卡盤通過對應的連接板及連接板上設置的連接孔利用外側固定裝置旋緊螺栓連接；每組弧形卡盤的上端面均設置有向外延伸的上端固定裝置固定板；上端固定裝置固定板上設置有固定孔；

所述的石英坩堝上端固定裝置包括外套固定筒和多個內套弧形頂緊板，外套固定筒的內徑大于石英坩堝的外徑且差值為N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，內套弧形頂緊板的外弧面與石英坩堝內表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部設置有螺孔，每個內套弧形頂緊板對應高度處也設置有螺孔，內套弧形頂緊板設置于外套固定筒內部且通過上端固定裝置旋緊螺栓連接；外套固定筒內表面下部設置有防滑橡膠，外套固定筒的下端面設置有向外延伸的外側固定裝置固定板，外側固定裝置固定板的數量與上端固定裝置固定板的數量相對應，外側固定裝置固定板上設置有固定孔和掛鉤孔。

所述的石英坩堝外側固定裝置包括四組弧形卡盤。

所述的弧形卡盤的內表面設置有防滑層。

所述的石英坩堝上端固定裝置包括四個內套弧形頂緊板。

所述的內套弧形頂緊板外表面下部設置有防滑層。

所述的防滑層采用防滑橡膠層。

所述的豎直升降桿驅動裝置和水平移動桿驅動裝置采用步進電機或液壓桿。

本實用新型在使用時，石英坩堝上端固定裝置中的外套固定筒既能夠夾緊石英坩堝上端部，又能有效防止石英坩堝受力不均而導致夾碎。石英坩堝外側固定裝置能夠卡緊石英坩堝外沿并保證受力均勻。石英坩堝上端固定裝置和石英坩堝外側固定裝置的連接能夠在吊裝過程中，使石英坩堝受到的加持力更為平均，不易發生碎落。本實用新型能夠快速安全的進行石英坩堝的搬運及安裝，提高工作效率，降低勞動強度，避免石英坩堝損壞。

附圖說明

圖1為本實用新型中吊架的結構示意圖；

圖2為本實用新型中石英坩堝外側固定裝置的結構示意圖；

圖3為本用新型中石英坩堝上端固定裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作以詳細的描述：

如圖1至圖3所示，本實用新型所述的單晶爐裝爐裝置，包括吊架、石英坩堝外側固定裝置和石英坩堝上端固定裝置；

吊架包括移動底座1、豎直升降桿2、水平移動桿3和吊繩4，移動底座1底部設置有車輪5，便于吊架的移動。移動底座1上設置有豎直升降桿驅動裝置6，豎直升降桿2由豎直升降桿驅動裝置6驅動，豎直升降桿2的活動端設置有水平移動桿驅動裝置7，水平移動桿3由水平移動桿驅動裝置7驅動，水平移動桿3的活動端設置有吊繩4，吊繩4前端設置有吊鉤8。豎直升降桿驅動裝置6和水平移動桿驅動裝置7可采用步進電機或液壓桿。