[實用新型]一種單晶爐裝爐裝置

有效

• 申請號: 201720026918.2
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206396352U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 楊向東;李玉平;侯利偉;李曉
• 申請（專利權）人: 新鄉市神舟晶體科技發展有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種單晶爐裝爐裝置，其特征在于：包括吊架、石英坩堝外側固定裝置和石英坩堝上端固定裝置；所述的吊架包括移動底座、豎直升降桿、水平移動桿和吊繩，移動底座上設置有豎直升降桿驅動裝置，豎直升降桿由豎直升降桿驅動裝置驅動，豎直升降桿的活動端設置有水平移動桿驅動裝置，水平移動桿由水平移動桿驅動裝置驅動，水平移動桿的活動端設置有吊繩，吊繩前端設置有吊鉤；所述的石英坩堝外側固定裝置包括多組弧形卡盤，每組弧形卡盤的內弧面均與石英坩堝外表面的弧面相匹配，每組弧形卡盤的左右兩側均設置有連接板，連接板上開設有連接孔，相鄰兩組弧形卡盤通過對應的連接板及連接板上設置的連接孔利用外側固定裝置旋緊螺栓連接；每組弧形卡盤的上端面均設置有向外延伸的上端固定裝置固定板；上端固定裝置固定板上設置有固定孔；所述的石英坩堝上端固定裝置包括外套固定筒和多個內套弧形頂緊板，外套固定筒的內徑大于石英坩堝的外徑且差值為N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，內套弧形頂緊板的外弧面與石英坩堝內表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部設置有螺孔，每個內套弧形頂緊板對應高度處也設置有螺孔，內套弧形頂緊板設置于外套固定筒內部且通過上端固定裝置旋緊螺栓連接；外套固定筒內表面下部設置有防滑橡膠，外套固定筒的下端面設置有向外延伸的外側固定裝置固定板，外側固定裝置固定板的數量與上端固定裝置固定板的數量相對應，外側固定裝置固定板上設置有固定孔和掛鉤孔。

2.根據權利要求1所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的石英坩堝外側固定裝置包括四組弧形卡盤。

3.根據權利要求1所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的弧形卡盤的內表面設置有防滑層。

4.根據權利要求1所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的石英坩堝上端固定裝置包括四個內套弧形頂緊板。

5.根據權利要求1所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的內套弧形頂緊板外表面下部設置有防滑層。

6.根據權利要求3或5所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的防滑層采用防滑橡膠層。

7.根據權利要求1所述的單晶爐裝爐裝置，其特征在于：所述的豎直升降桿驅動裝置和水平移動桿驅動裝置采用步進電機或液壓桿。