[實用新型]一種MOCVD加熱器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720025960.2
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206438177U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳興友;魏凱;王雪平;趙萬方;門寧鋒;朱宇
• 申請（專利權(quán)）人: 西安格美金屬材料有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及制備半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)，特別涉及一種MOCVD加熱器。

背景技術(shù)

金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積(Metal-organic Chemical Vapor DePosition，簡稱MOCVD)是制備化合物半導(dǎo)體薄膜的一項關(guān)鍵技術(shù)。MOCVD設(shè)備主要包括氣路系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、反應(yīng)室和檢測及控制系統(tǒng)等幾個部分。其中加熱系統(tǒng)主要是對反應(yīng)發(fā)生的襯底進(jìn)行加熱，提供反應(yīng)所需要的溫度，必須滿足加熱均勻，升溫降溫速度快，溫度穩(wěn)定時間短等要求；而現(xiàn)有的加熱器加熱均勻性比較差，特別是局部溫度比較高，另外加熱的效率也比較低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種MOCVD加熱器，解決了現(xiàn)有的加熱器加熱均勻性比較差，特別是局部溫度比較高，另外加熱的效率也比較低的問題。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種技術(shù)方案：一種MOCVD加熱器，包括石墨載片臺和爐體，所述石墨載片臺位于爐體內(nèi)部下側(cè)，其創(chuàng)新點在于：還包括加熱裝置、支撐座、反射層、隔熱層一、保溫座、安裝座、底座、隔熱層二、電機、隔熱連接套、隔熱旋轉(zhuǎn)座、連接導(dǎo)熱件和導(dǎo)熱套；所述爐體通過安裝座固定連接在底座頂部外側(cè)；所述保溫座底部固定連接在底座頂部，所述保溫座外側(cè)與爐體內(nèi)部下側(cè)內(nèi)壁固定連接；所述隔熱層一設(shè)在保溫座內(nèi)部表面上；所述反射層底部固定連接在隔熱層一內(nèi)部底面上；所述支撐座底部固定連接在反射層頂部；所述加熱裝置底部固定連接在支撐座頂面上；所述隔熱層二設(shè)在底座下側(cè)內(nèi)部表面上；所述電機固定連接在隔熱層二內(nèi)部上側(cè)中央，所述電機上側(cè)輸出軸端上面固定連接有隔熱連接套；所述隔熱連接套固定連接在隔熱旋轉(zhuǎn)座底部中央；所述隔熱旋轉(zhuǎn)座活動連接在底座上側(cè)中央，所述隔熱旋轉(zhuǎn)座頂部與連接導(dǎo)熱件底部固定連接；所述連接導(dǎo)熱件活動連接在導(dǎo)熱套內(nèi)部，所述連接導(dǎo)熱件頂部固定連接在石墨載片臺底部中央；所述導(dǎo)熱套外部固定連接在加熱裝置和支撐座的內(nèi)部中央；所述加熱裝置具體包括加熱體一、加熱體二、電極連接頭一、電極連接頭二和加熱殼體；所述加熱殼體內(nèi)部設(shè)有加熱體一和加熱體二；所述加熱體一兩端分別設(shè)有電極連接頭一；所述加熱體二兩端分別設(shè)有電極連接頭二；所述電極連接頭一和電極連接頭二均固定連接在加熱殼體右側(cè)。

作為優(yōu)選，所述加熱體一與加熱體二均由電阻絲材料制成，且呈扇形均勻分布在加熱殼體內(nèi)部。

作為優(yōu)選，所述電機為直流減速電機。

作為優(yōu)選，所述支撐座由導(dǎo)熱材料制成。

本實用新型的有益效果：本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理簡單、生產(chǎn)成本低、安裝方便，功能齊全，本實用新型中的加熱體一與加熱體二呈扇形均勻分布在加熱殼體內(nèi)部；無論使用加熱體一或加熱體二都能夠使熱量均勻的傳遞給石墨載片臺，另外設(shè)置的電機能夠有效的使石墨載片臺進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使熱量更加均勻傳遞給石墨載片臺中，另外設(shè)置的反射層能夠?qū)⒓訜狍w一和加熱體二底部的熱量反射到石墨載片臺中，從而進(jìn)一步的提高了加熱的效率。

附圖說明

為了易于說明，本實用新型由下述的具體實施及附圖作以詳細(xì)描述。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

1-石墨載片臺；2-爐體；3-加熱裝置；4-支撐座；5-反射層；6-隔熱層一；7-保溫座；8-安裝座；9-底座；10-隔熱層二；11-電機；12-隔熱連接套；13-隔熱旋轉(zhuǎn)座；14-連接導(dǎo)熱件；15-導(dǎo)熱套；31-加熱體一；32-加熱體二；33-電極連接頭一；34-電極連接頭二；35-加熱殼體。

具體實施方式