[實用新型]一種MOCVD加熱器有效
| 申請號： | 201720025960.2 | 申請日： | 2017-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN206438177U | 公開（公告）日： | 2017-08-25 |
| 發明（設計）人： | 陳興友;魏凱;王雪平;趙萬方;門寧鋒;朱宇 | 申請（專利權）人： | 西安格美金屬材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/46 | 分類號： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710089 陜西省西安市閻良*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mocvd 加熱器 | ||
1.一種MOCVD加熱器，包括石墨載片臺(1)和爐體(2)，所述石墨載片臺(1)位于爐體(2)內部下側，其特征在于：還包括加熱裝置(3)、支撐座(4)、反射層(5)、隔熱層一(6)、保溫座(7)、安裝座(8)、底座(9)、隔熱層二(10)、電機(11)、隔熱連接套(12)、隔熱旋轉座(13)、連接導熱件(14)和導熱套(15)；
所述爐體(2)通過安裝座(8)固定連接在底座(9)頂部外側；
所述保溫座(7)底部固定連接在底座(9)頂部，所述保溫座(7)外側與爐體(2)內部下側內壁固定連接；
所述隔熱層一(6)設在保溫座(7)內部表面上；
所述反射層(5)底部固定連接在隔熱層一(6)內部底面上；
所述支撐座(4)底部固定連接在反射層(5)頂部；
所述加熱裝置(3)底部固定連接在支撐座(4)頂面上；
所述隔熱層二(10)設在底座(9)下側內部表面上；
所述電機(11)固定連接在隔熱層二(10)內部上側中央，所述電機(11)上側輸出軸端上面固定連接有隔熱連接套(12)；
所述隔熱連接套(12)固定連接在隔熱旋轉座(13)底部中央；
所述隔熱旋轉座(13)活動連接在底座(9)上側中央，所述隔熱旋轉座(13)頂部與連接導熱件(14)底部固定連接；
所述連接導熱件(14)活動連接在導熱套(15)內部，所述連接導熱件(14)頂部固定連接在石墨載片臺(1)底部中央；
所述導熱套(15)外部固定連接在加熱裝置(3)和支撐座(4)的內部中央；
所述加熱裝置(3)具體包括加熱體一(31)、加熱體二(32)、電極連接頭一(33)、電極連接頭二(34)和加熱殼體(35)；
所述加熱殼體(35)內部設有加熱體一(31)和加熱體二(32)；
所述加熱體一(31)兩端分別設有電極連接頭一(33)；
所述加熱體二(32)兩端分別設有電極連接頭二(34)；
所述電極連接頭一(33)和電極連接頭二(34)均固定連接在加熱殼體(35)右側。
2.根據權利要求1所述的一種MOCVD加熱器，其特征在于：所述加熱體一(31)與加熱體二(32)均由電阻絲材料制成，且呈扇形均勻分布在加熱殼體(35)內部。
3.根據權利要求1所述的一種MOCVD加熱器，其特征在于：所述電機(11)為直流減速電機。
4.根據權利要求1所述的一種MOCVD加熱器，其特征在于：所述支撐座(4)由導熱材料制成。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
