[實(shí)用新型]一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材邦定的金屬密封系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720023307.2 | 申請(qǐng)日： | 2017-01-06 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN206366646U | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-08-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡茂橫 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B22D19/04 | 分類(lèi)號(hào)： | B22D19/04;C04B37/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市中科創(chuàng)為專(zhuān)利代理有限公司44384 | 代理人： | 高早紅,謝亮 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市坪山*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 陶瓷 旋轉(zhuǎn) 靶材邦定 金屬 密封 系統(tǒng) | ||
1.一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材邦定的金屬密封系統(tǒng)，其特征在于：
包括金屬背管和套置在金屬背管外部的第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材，其中，金屬背管和第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材在底部由一堵頭密封形成空腔；
金屬背管的管內(nèi)設(shè)置有內(nèi)加熱器，并且，第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材的外部設(shè)置有外加熱器；
金屬背管和第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材之間的空腔內(nèi)澆鑄有低熔點(diǎn)金屬綁定層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬密封系統(tǒng)，其特征在于：還包括套置在金屬背管外部的至少一第二陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材，第二陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材疊加在第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材的上部，并且，第二陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材與第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材之間放置有一密封墊片，第二陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材與金屬背管之間的空腔內(nèi)澆鑄有低熔點(diǎn)金屬綁定層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬密封系統(tǒng)，其特征在于：密封墊片設(shè)置為兩半式金屬墊片。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬密封系統(tǒng)，其特征在于：密封墊片設(shè)置的兩半式金屬墊片之間通過(guò)相互緊密適配的凹凸部連接形成。
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