[實用新型]一種DMD光刻投影鏡頭

有效

• 申請號: 201720016844.4
• 申請日: 2017-01-07
• 公開（公告）號: CN206348501U
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 向先兵;方俊丹;陳銘勇
• 申請（專利權）人: 深圳市燦銳科技有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及光刻機鏡頭技術領域，具體地說涉及一種DMD光刻投影鏡頭。

背景技術

DMD數字無掩模光刻系統是成熟的現有技術，新一代基于數字微鏡陣列(Digital Micro-mirror Device，DMD)空間光調制器的數字無掩模光刻技術大幅簡化了傳統光刻掩膜制作工藝的繁瑣流程，使得新犁數字光刻掩膜的制作變得簡單易控，顯著提升了光刻圖形的復雜度，并進一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個鏡片精確定位，位置精度需要達到微米甚至是亞微米的水平，同時，傾斜偏差度要小于一微米。

目前，現有技術的DMD光刻投影鏡頭主要存在如下問題：1、物方視野小；2、像方分辨率低，有像差、畸變等；3、鏡片之間的空氣間隙控制不好；4、鏡頭中的空氣排出性能差，不能滿足嚴格的公差要求；4、同軸度差；5、齊焦調節的調節性不好。

發明內容

本實用新型的目的在于針對上述現有技術的缺陷，提供一種DMD光刻投影鏡頭，以克服上述現有技術的缺陷。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案是：

一種DMD光刻投影鏡頭，從物方起到鏡方依次包括：第一雙凸鏡片、第二彎月鏡片、第三鏡片組、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片，所述第三鏡片組、第四彎月鏡片間設置有光闌；所述第三鏡片組和所述第六鏡片組分別由一個雙凸鏡片和一個平凹面鏡片膠合而成；所述第一雙凸鏡片設置在第一鏡筒的內腔的前端，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片依次設置在第二鏡筒的內腔中，所述第一鏡筒與第二鏡筒螺紋連接；

作為對上述技術方案的改進，所述第二彎月鏡片與第三鏡片組之間、所述第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片相互之間由隔圈相隔開，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片直徑相同，所述第二彎月鏡片前端、第一雙凸鏡片前端分別設置有壓圈，所述第二彎月鏡片由壓圈壓裝在第二鏡筒內腔的環口處，所述第一雙凸鏡片由壓圈壓裝在第一鏡筒內腔的環口處。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒與第二鏡筒的側面分別設置有放氣孔。

作為對上述技術方案的改進，所第二鏡筒在第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片的對應位置處分別設置有頂絲及注膠固定孔。

作為對上述技術方案的改進，所述第二鏡筒的外周套設有外殼。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒的外周旋塞有齊焦法蘭盤。

與現有技術相比，本實用新型具有的優點和積極效果是：

本實用新型的DMD光刻投影鏡頭，在光路上，1、物方視野大，數值孔徑小，采用單片大口徑正透鏡；2、像方后組數值孔徑大，分辨率高，采用多組鏡片進行結合，有效消除像差、畸變等；3、光闌位于鏡頭中心附近，采用部分對稱結構，有利于消除像差。在結構上，1、所有的隔圈都抵到環口處，為了更好的控制鏡片之間的空氣間隔；2、后組公差要求嚴的地方，鏡片的口徑都做成一樣的；3、側面有放氣孔，為了排除鏡頭中的空氣，以滿足嚴格的公差；4、頂偏芯的工藝孔，以及注膠固定孔用來修正敏感鏡片的同軸度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可調試齊焦法蘭盤用于齊焦調節。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的光路示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。