日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[實用新型]一種DMD光刻投影鏡頭有效

專利信息
申請號: 201720016844.4 申請日: 2017-01-07
公開(公告)號: CN206348501U 公開(公告)日: 2017-07-21
發明(設計)人: 向先兵;方俊丹;陳銘勇 申請(專利權)人: 深圳市燦銳科技有限公司
主分類號: G02B13/00 分類號: G02B13/00;G03F7/20
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518101 廣東省深圳市寶安區*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 dmd 光刻 投影 鏡頭
【說明書】:

技術領域

本實用新型涉及光刻機鏡頭技術領域,具體地說涉及一種DMD光刻投影鏡頭。

背景技術

DMD數字無掩模光刻系統是成熟的現有技術,新一代基于數字微鏡陣列(Digital Micro-mirror Device,DMD)空間光調制器的數字無掩模光刻技術大幅簡化了傳統光刻掩膜制作工藝的繁瑣流程,使得新犁數字光刻掩膜的制作變得簡單易控,顯著提升了光刻圖形的復雜度,并進一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個鏡片精確定位,位置精度需要達到微米甚至是亞微米的水平,同時,傾斜偏差度要小于一微米。

目前,現有技術的DMD光刻投影鏡頭主要存在如下問題:1、物方視野小;2、像方分辨率低,有像差、畸變等;3、鏡片之間的空氣間隙控制不好;4、鏡頭中的空氣排出性能差,不能滿足嚴格的公差要求;4、同軸度差;5、齊焦調節的調節性不好。

發明內容

本實用新型的目的在于針對上述現有技術的缺陷,提供一種DMD光刻投影鏡頭,以克服上述現有技術的缺陷。

為了實現上述目的,本實用新型的技術方案是:

一種DMD光刻投影鏡頭,從物方起到鏡方依次包括:第一雙凸鏡片、第二彎月鏡片、第三鏡片組、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片,所述第三鏡片組、第四彎月鏡片間設置有光闌;所述第三鏡片組和所述第六鏡片組分別由一個雙凸鏡片和一個平凹面鏡片膠合而成;所述第一雙凸鏡片設置在第一鏡筒的內腔的前端,所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片依次設置在第二鏡筒的內腔中,所述第一鏡筒與第二鏡筒螺紋連接;

作為對上述技術方案的改進,所述第二彎月鏡片與第三鏡片組之間、所述第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片相互之間由隔圈相隔開,所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片直徑相同,所述第二彎月鏡片前端、第一雙凸鏡片前端分別設置有壓圈,所述第二彎月鏡片由壓圈壓裝在第二鏡筒內腔的環口處,所述第一雙凸鏡片由壓圈壓裝在第一鏡筒內腔的環口處。

作為對上述技術方案的改進,所述第一鏡筒與第二鏡筒的側面分別設置有放氣孔。

作為對上述技術方案的改進,所第二鏡筒在第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片的對應位置處分別設置有頂絲及注膠固定孔。

作為對上述技術方案的改進,所述第二鏡筒的外周套設有外殼。

作為對上述技術方案的改進,所述第一鏡筒的外周旋塞有齊焦法蘭盤。

與現有技術相比,本實用新型具有的優點和積極效果是:

本實用新型的DMD光刻投影鏡頭,在光路上,1、物方視野大,數值孔徑小,采用單片大口徑正透鏡;2、像方后組數值孔徑大,分辨率高,采用多組鏡片進行結合,有效消除像差、畸變等;3、光闌位于鏡頭中心附近,采用部分對稱結構,有利于消除像差。在結構上,1、所有的隔圈都抵到環口處,為了更好的控制鏡片之間的空氣間隔;2、后組公差要求嚴的地方,鏡片的口徑都做成一樣的;3、側面有放氣孔,為了排除鏡頭中的空氣,以滿足嚴格的公差;4、頂偏芯的工藝孔,以及注膠固定孔用來修正敏感鏡片的同軸度;5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求;6、可調試齊焦法蘭盤用于齊焦調節。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動性的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖;

圖2為本實用新型的光路示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳市燦銳科技有限公司,未經深圳市燦銳科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720016844.4/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 4399午夜理伦免费播放大全| 大桥未久黑人强制中出| 国产精品奇米一区二区三区小说| 91理论片午午伦夜理片久久| 一区二区午夜| 午夜电影天堂| 久久伊人色综合| 亚洲区日韩| 国产女人和拘做受在线视频| 国产精品乱战久久久| 国产一区二区免费在线| 91精品色| 日韩国产精品久久久久久亚洲| 日本精品一区二区三区在线观看视频| 日韩精品一区在线观看| 日韩一级精品视频在线观看 | 狠狠色噜噜狠狠狠狠2021免费| 国产一区二区资源| 91午夜精品一区二区三区| 欧美高清性xxxxhd| 精品国产1区2区| 欧美日韩激情一区二区| 中文在线一区| 99国产精品久久久久99打野战| 国产午夜亚洲精品| 国产一区影院| 欧美在线播放一区| 日本一区二区电影在线观看| 国产精品乱码一区| 国产精品一二二区| 国产一区二区三区四区五区七| 日韩精品少妇一区二区在线看| 久久国产精品波多野结衣| 在线电影一区二区| 538在线一区二区精品国产| 毛片大全免费观看| 99欧美精品| 国产一区二区播放| 激情久久一区二区三区| 一区二区国产盗摄色噜噜| 综合国产一区| 鲁丝一区二区三区免费观看| 国产一区二区激情| 夜夜爽av福利精品导航| 久久中文一区| 日本午夜精品一区二区三区| 亚洲国产精品精品| 欧美日韩激情在线| 国产精品九九九九九| 99re6国产露脸精品视频网站| 精品视频久| 日本一二三区视频| 日韩精品久久久久久久的张开腿让| 精品久久久久一区二区| 欧美中文字幕一区二区| 久久国产中文字幕| 免费观看xxxx9999片| 欧美一区二区三区不卡视频| 亚洲国产精品国自产拍久久| 香蕉免费一区二区三区在线观看| 国产伦精品一区二区三区照片91| 日韩精品一区二区免费| 欧美日韩三区| 肥大bbwbbwbbw高潮| 欧美在线一区二区视频| 亚洲精品一区,精品二区| 亚洲综合日韩精品欧美综合区| 午夜免费片| 国产一二区在线| 国产色一区二区| 日本美女视频一区二区三区| 国产精品国产三级国产播12软件 | 玖玖国产精品视频| 久久99精品国产麻豆婷婷洗澡| 一区二区三区国产精品视频| 午夜欧美影院| 26uuu亚洲电影在线观看| 欧美日韩一区电影| 国产亚洲精品精品国产亚洲综合| 欧美在线播放一区| 一区二区三区国产精华| 久久99精| 456亚洲精品| 国产乱子一区二区| 免费看农村bbwbbw高潮| 亚洲乱码一区二区三区三上悠亚| 国产精品乱码一区| 免费久久99精品国产婷婷六月| 国产乱xxxxx97国语对白| 精品国产伦一区二区三区免费| 夜色av网| www.午夜av| 91黄在线看| 91午夜在线| 久久久久国产一区二区三区不卡| 国产主播啪啪| 国产中文字幕一区二区三区 | 精品久久小视频| 欧美一区二区三区三州| 国产极品美女高潮无套久久久| 亚洲无人区码一码二码三码 | 狠狠色噜噜狠狠狠狠69| 国产电影一区二区三区下载| 精品国产乱码久久久久久a丨| 国产在线一卡二卡| 国产一区二区三区午夜| 99爱精品在线| 国产欧美一区二区三区免费视频| 欧美日韩国产在线一区| 欧美日本一二三区| av中文字幕一区二区| 国产精品高潮呻| 亚洲五码在线| 亚洲欧美国产中文字幕 | 欧美在线视频二区| 久久精品综合| 91一区在线观看| aaaaa国产欧美一区二区| 综合色婷婷一区二区亚洲欧美国产 | 日本一码二码三码视频| 久久夜色精品国产噜噜麻豆| 狠狠色噜噜狠狠狠色综合| 久久精品综合| 久久99久久99精品蜜柚传媒| 国产91视频一区| 国产人成看黄久久久久久久久| 日韩中文字幕一区二区在线视频 | 久久噜噜少妇网站| 欧美日本91精品久久久久| 美女被羞羞网站视频软件| 色噜噜狠狠色综合影视| 国产精品欧美一区二区三区奶水| 夜夜嗨av禁果av粉嫩av懂色av| 亚洲一区中文字幕| 国产床戏无遮挡免费观看网站| 日韩亚洲欧美一区| 亚洲欧美日韩综合在线| 中文字幕一区二区三区乱码视频| 99国产精品99久久久久| 6080日韩午夜伦伦午夜伦| 国产二区三区视频| 高清欧美精品xxxxx| 国产欧美日韩一级大片| 亚洲国产精品一区在线| 97精品国产97久久久久久| 国产理论片午午午伦夜理片2021 | 国产午夜亚洲精品羞羞网站| 视频一区二区三区中文字幕| 欧美精品第一区| 免费看农村bbwbbw高潮| 99久久国产综合| 又黄又爽又刺激久久久久亚洲精品| 热re99久久精品国99热蜜月| 免费看性生活片| 亚洲欧美一卡二卡| 精品福利一区| 激情久久综合网| 国产精品久久亚洲7777| 亚洲欧美国产一区二区三区| 国产欧美日韩中文字幕| 黄色av免费| 国产精品欧美久久| 国产精品综合一区二区| 狠狠色噜噜狠狠狠狠777| 日本免费电影一区二区| 国内偷拍一区| 91久久精品国产91久久性色tv| 午夜亚洲影院| 国产主播啪啪| 久久99精品久久久大学生| 亚洲欧美日本一区二区三区| 午夜影院色| 亚洲精品www久久久| 欧美一区二区久久久| 国产精品69av| 亚洲精品久久久久不卡激情文学 | 欧美黄色一二三区| 日韩精品久久久久久久电影99爱| 99久久国产综合精品麻豆| 久久精品国产综合| 91精品福利观看| 午夜一二区| 亚洲神马久久| 狠狠色丁香久久婷婷综合_中| 国产suv精品一区二区4| 久久一区二区精品| 麻豆天堂网| 性国产videofree极品| 美女销魂免费一区二区| 年轻bbwwbbww高潮| 久久久一二区| 玖玖精品国产| 亚洲欧美日韩国产综合精品二区| 欧美日韩卡一卡二| www.成| 久久国产精久久精产国| 一区二区国产盗摄色噜噜| 午夜毛片在线| 国内少妇自拍视频一区| 国产精品刺激对白麻豆99| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 国产天堂第一区| 国产精品一区二区在线看| 欧美一级特黄乱妇高清视频| 日韩精品久久一区二区三区| 午夜毛片影院| 最新国产精品久久精品| 综合久久一区| 久久密av| 亚洲精品久久久久玩吗| 国产精品网站一区| 伊人久久婷婷色综合98网| 亚洲日韩欧美综合| 久久伊人色综合| 美女被羞羞网站视频软件| 久久国产视屏| 国产精品欧美一区二区视频| 综合在线一区| 欧美日韩一区二区三区四区五区| 亚洲欧美制服丝腿| 国产精品一区二区在线看| 狠狠操很很干| 亚洲精品20p| 国产精一区二区三区| 中文乱码在线视频| 国产欧美一区二区精品久久| 黄毛片在线观看| 国产呻吟久久久久久久92| 国产精品久久久麻豆| 色婷婷精品久久二区二区我来| 久久久午夜爽爽一区二区三区三州| 香港三日三级少妇三级99| 91久久香蕉| 日韩av一区二区在线播放| 一区二区三区电影在线观看| 日本久久丰满的少妇三区| 国产一区二区三区国产| 欧美精品一区二区性色| 99精品偷拍视频一区二区三区| 狠狠色丁香久久综合频道日韩| 色婷婷精品久久二区二区蜜臂av| 中文字幕a一二三在线| 一区二区精品久久| 国产乱xxxxx国语对白| xxxxhd欧美| 国产一区二区三区午夜|