[實(shí)用新型]一種DMD光刻投影鏡頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720016844.4
• 申請(qǐng)日: 2017-01-07
• 公開（公告）號(hào): CN206348501U
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向先兵;方俊丹;陳銘勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市燦銳科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B13/00
• 分類號(hào): G02B13/00;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)鏡頭技術(shù)領(lǐng)域，具體地說涉及一種DMD光刻投影鏡頭。

背景技術(shù)

DMD數(shù)字無掩模光刻系統(tǒng)是成熟的現(xiàn)有技術(shù)，新一代基于數(shù)字微鏡陣列(Digital Micro-mirror Device，DMD)空間光調(diào)制器的數(shù)字無掩模光刻技術(shù)大幅簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)光刻掩膜制作工藝的繁瑣流程，使得新犁數(shù)字光刻掩膜的制作變得簡(jiǎn)單易控，顯著提升了光刻圖形的復(fù)雜度，并進(jìn)一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個(gè)鏡片精確定位，位置精度需要達(dá)到微米甚至是亞微米的水平，同時(shí)，傾斜偏差度要小于一微米。

目前，現(xiàn)有技術(shù)的DMD光刻投影鏡頭主要存在如下問題：1、物方視野小；2、像方分辨率低，有像差、畸變等；3、鏡片之間的空氣間隙控制不好；4、鏡頭中的空氣排出性能差，不能滿足嚴(yán)格的公差要求；4、同軸度差；5、齊焦調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)性不好。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種DMD光刻投影鏡頭，以克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

一種DMD光刻投影鏡頭，從物方起到鏡方依次包括：第一雙凸鏡片、第二彎月鏡片、第三鏡片組、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片，所述第三鏡片組、第四彎月鏡片間設(shè)置有光闌；所述第三鏡片組和所述第六鏡片組分別由一個(gè)雙凸鏡片和一個(gè)平凹面鏡片膠合而成；所述第一雙凸鏡片設(shè)置在第一鏡筒的內(nèi)腔的前端，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片依次設(shè)置在第二鏡筒的內(nèi)腔中，所述第一鏡筒與第二鏡筒螺紋連接；

作為對(duì)上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述第二彎月鏡片與第三鏡片組之間、所述第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片相互之間由隔圈相隔開，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片直徑相同，所述第二彎月鏡片前端、第一雙凸鏡片前端分別設(shè)置有壓圈，所述第二彎月鏡片由壓圈壓裝在第二鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處，所述第一雙凸鏡片由壓圈壓裝在第一鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處。

作為對(duì)上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述第一鏡筒與第二鏡筒的側(cè)面分別設(shè)置有放氣孔。

作為對(duì)上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所第二鏡筒在第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片的對(duì)應(yīng)位置處分別設(shè)置有頂絲及注膠固定孔。

作為對(duì)上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述第二鏡筒的外周套設(shè)有外殼。

作為對(duì)上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述第一鏡筒的外周旋塞有齊焦法蘭盤。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：

本實(shí)用新型的DMD光刻投影鏡頭，在光路上，1、物方視野大，數(shù)值孔徑小，采用單片大口徑正透鏡；2、像方后組數(shù)值孔徑大，分辨率高，采用多組鏡片進(jìn)行結(jié)合，有效消除像差、畸變等；3、光闌位于鏡頭中心附近，采用部分對(duì)稱結(jié)構(gòu)，有利于消除像差。在結(jié)構(gòu)上，1、所有的隔圈都抵到環(huán)口處，為了更好的控制鏡片之間的空氣間隔；2、后組公差要求嚴(yán)的地方，鏡片的口徑都做成一樣的；3、側(cè)面有放氣孔，為了排除鏡頭中的空氣，以滿足嚴(yán)格的公差；4、頂偏芯的工藝孔，以及注膠固定孔用來修正敏感鏡片的同軸度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可調(diào)試齊焦法蘭盤用于齊焦調(diào)節(jié)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的光路示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。