[實(shí)用新型]一種DMD光刻投影鏡頭有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720016844.4 | 申請(qǐng)日： | 2017-01-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206348501U | 公開（公告）日： | 2017-07-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 向先兵;方俊丹;陳銘勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市燦銳科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B13/00 | 分類號(hào)： | G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518101 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 dmd 光刻 投影 鏡頭 | ||
1.一種DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：從物方起到鏡方依次包括：第一雙凸鏡片、第二彎月鏡片、第三鏡片組、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片，所述第三鏡片組、第四彎月鏡片間設(shè)置有光闌；所述第三鏡片組和所述第六鏡片組分別由一個(gè)雙凸鏡片和一個(gè)平凹面鏡片膠合而成；所述第一雙凸鏡片設(shè)置在第一鏡筒的內(nèi)腔的前端，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片依次設(shè)置在第二鏡筒的內(nèi)腔中，所述第一鏡筒與第二鏡筒螺紋連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：所述第二彎月鏡片與第三鏡片組之間、所述第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片相互之間由隔圈相隔開，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片直徑相同，所述第二彎月鏡片前端、第一雙凸鏡片前端分別設(shè)置有壓圈，所述第二彎月鏡片由壓圈壓裝在第二鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處，所述第一雙凸鏡片由壓圈壓裝在第一鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：所述第一鏡筒與第二鏡筒的側(cè)面分別設(shè)置有放氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：所第二鏡筒在第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片的對(duì)應(yīng)位置處分別設(shè)置有頂絲及注膠固定孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：所述第二鏡筒的外周套設(shè)有外殼。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DMD光刻投影鏡頭，其特征在于：所述第一鏡筒的外周旋塞有齊焦法蘭盤。
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