[實用新型]伸縮式晶舟夾具

有效

• 申請號: 201720013190.X
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN206401294U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 王銘志;吳進原;葉蔭晟
• 申請（專利權）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙)31218
• 代理人: 翟羽

技術領域

本揭示涉及一種晶舟夾具，特別是涉及一種伸縮式晶舟夾具。

背景技術

在半導體產業的制造工廠中通常配置有多臺的濕式工藝設備用于批次式的處理大量的晶圓。為了因應電子產品的種類會使用不同形狀和尺寸的晶圓或基板。因此在進行濕式工藝時，使用的晶舟(cas sette)種類也會有所不同。舉例來說，當以大型基板進行濕式工藝時，必須采用大尺寸的晶舟來承載所述大型基板。

然而，大尺寸晶舟的構型復雜且重量重，若以現有的晶舟夾具難以有效地夾持住所述大尺寸晶舟。具體來說，現有的晶舟夾具是采用勾取或者是以非垂直于晶舟方向的夾持力(例如，以旋轉方式對晶舟施予一斜向的夾持力)來夾持晶舟，此方式容易導致舟晶發生滑動或脫落。

有鑒于此，有必要提出一種晶舟夾具，用以解決現有技術中存在的問題。

實用新型內容

為解決上述現有技術的問題，本揭示的目的在于提供一種伸縮式晶舟夾具，其是通過伸縮式的方法控制晶舟夾具以垂直于晶舟的方向施加或釋放夾持力，進而避免現有技術中以非垂直于晶舟方向進行夾持，容易導致舟晶發生滑動或脫落的情況。

為達成上述目的，本揭示提供一種伸縮式晶舟夾具，適用于設置在一高架傳輸系統以傳送一晶舟。所述高架傳輸系統包含沿著一第一方向延伸的軌道，所述軌道具有一第一面和相對所述第一面的第二面，其中所述伸縮式晶舟夾具包括：一對連動桿，沿著所述第一方向間隔設置在所述軌道的所述第一面，且每一所述連動桿的第一端具有一凸塊；一滑塊組，設置在所述對連動桿之間，具有一八字型斜向開槽，其中所述對連動桿的所述對凸塊分別嵌設在所述八字型斜向開槽的相對的兩斜向開槽內，使得所述一對凸塊可沿著所述八字型斜向開槽滑動；以及一對夾持臂，沿著在一第二方向上且垂直所述第一面和所述第二面的直線延伸，其中所述夾持臂的一端與對應的所述連動桿連接，以及所述夾持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；其中當所述滑塊組沿著一第三方向移動時，所述對連動桿隨著所述八字型斜向開槽而沿著在所述第一方向上的直線相對移動，進而改變所述對連動桿之間的距離。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述滑塊組包含：一基座，固定在所述軌道上，具有一沿著所述第三方向延伸的滑槽；一滑塊，通過所述滑槽可滑動地安裝在所述基座上；以及一導向塊，固定在所述滑塊上，具有所述八字型斜向開槽。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述滑塊具有一限位塊，以及所述基座的末端設有一與所述限位塊相配合的止擋部。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述八字型斜向開槽由間隔設置的所述兩斜向開槽組成，并且彼此對稱于在所述第三方向上延伸的直線。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述八字型斜向開槽的所述兩斜向開槽的延伸方向相反，且所述兩斜向開槽之間的距離為逐漸改變。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向三者互相垂直。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對沿著所述第三方向延伸的連接桿，橫跨在所述軌道的所述第一面上，其中每一所述連接桿的兩端與對應的所述夾持臂連接，以及每一所述連接桿還與對應的所述連動桿的第二端連接，使得所述對連接桿隨著所述對連動桿之間距離的改變而移動，進而使所述對夾持臂沿著在所述第一方向上的直線相對移動以改變所述對夾持臂之間的距離。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對緩沖塊，設置在所述軌道上，并且位在所述對連接桿之間及面對對應的連接桿，用以緩沖對應的所述連接桿前進。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對定位感測器，其中所述連接桿上設有與所述對定位感測器相配合的遮蔽塊，其中當所述伸縮式晶舟夾具在一夾取狀態時，所述遮蔽塊遮蔽住其中之一所述定位感測器，以及當所述伸縮式晶舟夾具在一松開狀態時，所述遮蔽塊遮蔽住另一所述定位感測器。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述夾持臂的所述卡扣件包含多個卡勾，用于卡扣在所述晶舟的對應的開口上。

于本揭示其中之一優選實施例當中，所述夾持臂的所述卡扣件包含一橫桿，用于卡扣在所述晶舟的對應的側邊凹槽上。

相較于先前技術，本揭示通過控制滑塊組以改變兩連動桿之間的距離，進而使兩夾持臂隨著兩連動桿之間的距離改變而沿著一直線一同朝向晶舟靠近或者是遠離晶舟。

附圖說明

圖1顯示一種根據本揭示第一優選實施例的伸縮式晶舟夾具的第一動作位置示意圖；