[實用新型]蒸鍍源

有效

• 申請號: 201720006481.6
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN206298636U
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 何瑞亭;李曉康
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種蒸鍍源。

背景技術

當前廣泛使用的屏幕是液晶顯示器(英文：Liquid Crystal Display；簡稱：LCD)和有機發光二極管顯示器(英文：Organic Light-Emitting Diode；簡稱：OLED)。OLED由于具有輕薄，低功耗，高對比度，高色域，可以實現柔性顯示等優點，被認為是下一代顯示器的發展趨勢。OLED的顯示包括被動式有機電激發光二極管(英文：Passive matrix Organic Light-Emitting Diode；簡稱：PMOLED)顯示和有源矩陣有機發光二極體面板(英文：Active-matrix organic light emittingdiode；簡稱：AMOLED)顯示兩種。其中，AMOLED的實現方式有低溫多晶硅(英文：Low Temperature Poly-silicon；簡稱：LTPS)背板+精細金屬掩膜(英文：Fine Metal Mask；簡稱：FMM)方式，和氧化物(英文：Oxide)背板+白光有機發光二極管(英文：White Organic Light Emitting Diode；簡稱：WOLED)+彩膜的方式。前者主要應用于小尺寸面板，對應手機和移動應用；后者主要應用于大尺寸面板，對應監視器和電視等應用。目前LTPS背板+FMM的方式已經初步成熟，實現了量產。

相關技術中，LTPS背板+FMM的方式是采用蒸鍍源將OLED有機材料按照預定程序蒸鍍到LTPS背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍器件。其中，蒸鍍源包括坩堝、加熱絲和設置有多個噴嘴的坩堝蓋。坩堝由鈦材質制成且為中空結構，加熱絲環繞設置在坩堝外壁，坩堝蓋設置在坩堝開口端。在進行蒸鍍時，坩堝內的OLED有機材料被加熱絲加熱后從噴嘴中噴出，進而完成對LTPS背板的蒸鍍。

由于坩堝由鈦材質制成，所以坩堝的熱傳導性較差，且坩堝外壁的加熱絲易變形，坩堝受熱的均勻性較差，進而使OLED有機材料受熱的均勻性較差，最終導致OLED有機材料灰化變性，因此，蒸鍍源蒸鍍的可靠性較差。

實用新型內容

為了解決相關技術中蒸鍍源蒸鍍的可靠性較差的問題，本實用新型提供了一種蒸鍍源。所述技術方案如下：

提供了一種蒸鍍源，所述蒸鍍源包括：蒸鍍本體和n個加熱部件，所述n大于1，

所述蒸鍍本體包括為中空結構的坩堝、環繞設置在所述坩堝外壁的加熱絲和設置有n個噴嘴的坩堝蓋，所述坩堝蓋設置在所述坩堝開口端；

所述n個加熱部件設置在所述坩堝內，每個所述加熱部件位于一個噴嘴的下方，每個所述加熱部件設置有加熱絲。

可選的，所述蒸鍍源還包括：噴嘴疏通部件，所述噴嘴疏通部件包括激光發生器、金屬棒、控制器和第一驅動部件，

所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝內部或者外部；

所述金屬棒為中空結構，所述金屬棒的頂端為密閉結構，所述激光發生器與所述控制器連接，所述激光發生器用于在所述控制器的控制下發射激光，并采用所述激光對所述金屬棒加熱，加熱的金屬棒能夠在所述第一驅動部件的驅動力下穿入所述噴嘴內。

可選的，每個所述加熱部件的高度相等，且大于所述坩堝所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度。

可選的，所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝內部，所述噴嘴疏通部件的數量為n，每個所述噴嘴疏通部件還包括：底座、激光傳導部件和第二驅動部件，

所述坩堝底面設置有n個開口，每個所述噴嘴在所述坩堝底面上的正投影的中心與一個開口的中心重合；

每個所述加熱部件包括套管和管蓋，所述管蓋設置在所述套管的頂端，所述套管的管壁包括內層壁和外層壁，所述加熱部件的加熱絲環繞設置在所述內層壁上，所述套管的底端與所述坩堝底面的開口為一體型結構；

對于每個所述噴嘴疏通部件，所述金屬棒設置在所述套管內，所述底座設置在所述金屬棒的底端，所述底座為中空結構，所述金屬棒和所述底座連通，所述激光發生器和所述激光傳導部件設置在所述底座內，所述激光傳導部件能夠將所述激光發生器發射的激光經過所述金屬棒傳輸至所述金屬棒的頂端，所述第一驅動部件設置在所述底座的一端，

所述內層壁和所述外層壁形成的環形空間中設置有容納管，所述容納管內設置有第一支撐桿，所述第一支撐桿的一端與所述第二驅動部件連接，所述第一支撐桿能夠在所述第二驅動部件的驅動力下發生垂直位移，以及沿水平方向旋轉，所述第一支撐桿的另一端與所述管蓋固定連接。