[實(shí)用新型]蒸鍍?cè)?/span>有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720006481.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-01-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206298636U | 公開(公告)日: | 2017-07-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 何瑞亭;李曉康 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/24 | 分類號(hào): | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11138 | 代理人: | 滕一斌 |
| 地址: | 100015 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 蒸鍍?cè)?/a> | ||
1.一種蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢稣翦冊(cè)窗ǎ赫翦儽倔w和n個(gè)加熱部件,所述n大于1,
所述蒸鍍本體包括為中空結(jié)構(gòu)的坩堝、環(huán)繞設(shè)置在所述坩堝外壁的加熱絲和設(shè)置有n個(gè)噴嘴的坩堝蓋,所述坩堝蓋設(shè)置在所述坩堝開口端;
所述n個(gè)加熱部件設(shè)置在所述坩堝內(nèi),每個(gè)所述加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方,每個(gè)所述加熱部件設(shè)置有加熱絲。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢稣翦冊(cè)催€包括:噴嘴疏通部件,所述噴嘴疏通部件包括激光發(fā)生器、金屬棒、控制器和第一驅(qū)動(dòng)部件,
所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝內(nèi)部或者外部;
所述金屬棒為中空結(jié)構(gòu),所述金屬棒的頂端為密閉結(jié)構(gòu),所述激光發(fā)生器與所述控制器連接,所述激光發(fā)生器用于在所述控制器的控制下發(fā)射激光,并采用所述激光對(duì)所述金屬棒加熱,加熱的金屬棒能夠在所述第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下穿入所述噴嘴內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢?/p>
每個(gè)所述加熱部件的高度相等,且大于所述坩堝所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢鰢娮焓柰ú考挥谒鲔釄鍍?nèi)部,所述噴嘴疏通部件的數(shù)量為n,每個(gè)所述噴嘴疏通部件還包括:底座、激光傳導(dǎo)部件和第二驅(qū)動(dòng)部件,
所述坩堝底面設(shè)置有n個(gè)開口,每個(gè)所述噴嘴在所述坩堝底面上的正投影的中心與一個(gè)開口的中心重合;
每個(gè)所述加熱部件包括套管和管蓋,所述管蓋設(shè)置在所述套管的頂端,所述套管的管壁包括內(nèi)層壁和外層壁,所述加熱部件的加熱絲環(huán)繞設(shè)置在所述內(nèi)層壁上,所述套管的底端與所述坩堝底面的開口為一體型結(jié)構(gòu);
對(duì)于每個(gè)所述噴嘴疏通部件,所述金屬棒設(shè)置在所述套管內(nèi),所述底座設(shè)置在所述金屬棒的底端,所述底座為中空結(jié)構(gòu),所述金屬棒和所述底座連通,所述激光發(fā)生器和所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述底座內(nèi),所述激光傳導(dǎo)部件能夠?qū)⑺黾す獍l(fā)生器發(fā)射的激光經(jīng)過所述金屬棒傳輸至所述金屬棒的頂端,所述第一驅(qū)動(dòng)部件設(shè)置在所述底座的一端,
所述內(nèi)層壁和所述外層壁形成的環(huán)形空間中設(shè)置有容納管,所述容納管內(nèi)設(shè)置有第一支撐桿,所述第一支撐桿的一端與所述第二驅(qū)動(dòng)部件連接,所述第一支撐桿能夠在所述第二驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下發(fā)生垂直位移,以及沿水平方向旋轉(zhuǎn),所述第一支撐桿的另一端與所述管蓋固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢鰢娮焓柰ú考挥谒鲔釄逋獠浚鰢娮焓柰ú考€包括承載臺(tái)、導(dǎo)軌和第二支撐桿,
所述第一驅(qū)動(dòng)部件和所述導(dǎo)軌設(shè)置在所述承載臺(tái)上,所述第二支撐桿的一端位于所述導(dǎo)軌內(nèi),所述第二支撐桿與所述第一驅(qū)動(dòng)部件連接,所述第二支撐桿能夠在所述第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下沿著所述導(dǎo)軌在水平面上移動(dòng)并發(fā)生垂直位移,所述第二支撐桿遠(yuǎn)離所述承載臺(tái)的一端設(shè)置有激光頭,所述金屬棒設(shè)置在所述激光頭遠(yuǎn)離所述第二支撐桿的一端。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢龅诙螚U為中空結(jié)構(gòu),所述噴嘴疏通部件還包括激光傳導(dǎo)部件,
所述激光發(fā)生器設(shè)置在所述承載臺(tái)上,所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述第二支撐桿內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢?/p>
所述激光發(fā)生器設(shè)置在所述第二支撐桿遠(yuǎn)離所述承載臺(tái)的一端,且靠近所述激光頭的位置處。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢?/p>
所述套管的外層壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一溫度傳感器,所述第一溫度傳感器用于監(jiān)測(cè)所述套管上的溫度,并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至所述控制器。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢?/p>
所述金屬棒的外壁設(shè)置有第二溫度傳感器,所述第二溫度傳感器用于監(jiān)測(cè)所述金屬棒上的溫度,并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至所述控制器。
10.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的蒸鍍?cè)矗涮卣髟谟冢?/p>
所述噴嘴疏通部件還包括保護(hù)部件,所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述保護(hù)部件內(nèi)。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





