[實(shí)用新型]一種用于單晶硅棒截?cái)嗟淖詣?dòng)支撐裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720005938.1 | 申請(qǐng)日: | 2017-01-04 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN206349350U | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-07-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 曹建偉;沈文杰;盧嘉彬;吳兵兵;邱文杰;楊思煒;何守龍;羅世銘;邱敏秀 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212 | 代理人: | 周世駿 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 單晶硅 截?cái)?/a> 自動(dòng) 支撐 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型是關(guān)于單晶硅截?cái)嘌b備輔助設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及一種用于單晶硅棒截?cái)嗟淖詣?dòng)支撐裝置。
背景技術(shù)
晶硅棒截?cái)鄼C(jī)在光伏產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用非常廣泛,其主要功能是為了滿足單晶硅棒的質(zhì)量參數(shù)和下一道工序的外形、尺寸而對(duì)硅棒進(jìn)行的初步加工,它是光伏太陽(yáng)能電池片前期工序中不可缺少的步驟。在單晶硅棒截?cái)嘣O(shè)備中,硅棒的支撐和固定是其截?cái)噘|(zhì)量好壞的關(guān)鍵。
在現(xiàn)有技術(shù)的單晶硅棒截?cái)噙^(guò)程中,硅棒通常通過(guò)人工塞墊或人力扳動(dòng)卡具來(lái)固定,但由于人工方法的不確定性,不能將硅棒完全固定牢固,使得其截?cái)嗟膯尉Ч璋艟哂腥毕荩?jīng)常會(huì)因?yàn)榧?xì)微的位移出現(xiàn)“波浪面,面不平”和“崩邊”的問(wèn)題。現(xiàn)有的生產(chǎn)技術(shù)大大地浪費(fèi)了人力,影響了產(chǎn)品質(zhì)量,降低了工作效率。因而如何減小硅棒截?cái)噙^(guò)程中的細(xì)微位移,防止出現(xiàn)“波浪面,面不平”和“崩邊”等現(xiàn)象,是一個(gè)急需解決的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種能減小硅棒在截?cái)噙^(guò)程中出現(xiàn)的細(xì)微位移的自動(dòng)支撐裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型的解決方案是:
提供一種用于單晶硅棒截?cái)嗟淖詣?dòng)支撐裝置,用于支撐硅棒,所述用于單晶硅棒截?cái)嗟淖詣?dòng)支撐裝置包括安裝座、支撐底板、直線導(dǎo)軌、滑塊、支撐塊、滾輪組件、氣缸、浮動(dòng)接頭、支撐側(cè)板、防水組件;
所述安裝座為焊接件,且安裝座的兩側(cè)對(duì)稱各開(kāi)有兩個(gè)螺孔;所述支撐底板通過(guò)螺釘連接在安裝座上,支撐底板前后對(duì)稱開(kāi)有四個(gè)螺孔,兩條平行直線導(dǎo)軌通過(guò)螺釘安裝在支撐底板上,每條直線導(dǎo)軌上安裝有一組滑塊,每組滑塊包括兩個(gè)滑塊,使滑塊能沿著直線導(dǎo)軌左右移動(dòng);
所述支撐塊設(shè)有兩個(gè),每塊支撐塊分別通過(guò)螺釘安裝在兩個(gè)設(shè)置在不同直線導(dǎo)軌的滑塊上方;支撐塊有一個(gè)斜面,且兩個(gè)支撐塊的斜面相對(duì);
所述支撐側(cè)板設(shè)有兩塊,分別安裝在安裝座的左右兩側(cè),且每塊支撐側(cè)板的中間開(kāi)有通孔;所述氣缸設(shè)有兩個(gè),分別采用螺釘對(duì)稱安裝在兩側(cè)的支撐側(cè)板上,且兩側(cè)氣缸的活塞桿能分別穿過(guò)對(duì)應(yīng)支撐側(cè)板的中間通孔,與對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)接頭的一端連接,浮動(dòng)接頭的另一端與一塊支撐塊連接,使兩個(gè)支撐塊能在對(duì)應(yīng)氣缸的驅(qū)動(dòng)下,進(jìn)行相互分離和靠近動(dòng)作;
所述滾輪組件設(shè)有兩組,每組包括至少兩個(gè)滾輪,兩組滾輪組件分別通過(guò)螺釘對(duì)稱安裝在對(duì)應(yīng)的支撐塊斜面上,用于配合支撐硅棒,且硅棒能在滾輪上隨著兩組滾輪滾動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng);
所述防水組件包括側(cè)防水板、風(fēng)琴護(hù)罩、支撐防水板;側(cè)防水板設(shè)有兩組,一塊支撐塊上安裝一組側(cè)防水板,每組側(cè)防水板包括兩塊側(cè)防水板,且分別采用螺釘對(duì)稱安裝在兩個(gè)支撐塊的前后兩側(cè);風(fēng)琴護(hù)罩設(shè)有三個(gè),分別采用螺釘安裝在左側(cè)的支撐側(cè)板和左側(cè)的支撐塊之間、兩個(gè)支撐塊之間、右側(cè)的支撐塊和右側(cè)的支撐側(cè)板之間;支撐防水板設(shè)有兩塊,分別采用螺釘前后對(duì)稱安裝在直線導(dǎo)軌的兩側(cè)。
作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述氣缸采用端鎖氣缸。
作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述支撐塊的斜面角度能根據(jù)硅棒外徑尺寸的不同進(jìn)行調(diào)節(jié),用于貼合硅棒。
作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述每組滾輪組件包括三個(gè)滾輪。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:
本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)更為穩(wěn)定,減小了硅棒在截?cái)噙^(guò)程中的細(xì)微位移,能有效消除現(xiàn)有硅棒截?cái)噙^(guò)程中出現(xiàn)的“波浪面,面不平”和“崩邊”的問(wèn)題,且適用于不同直徑和長(zhǎng)度的硅棒。
本實(shí)用新型采用滾輪組件使得與硅棒的摩擦系數(shù)小,便于硅棒的移動(dòng)和運(yùn)輸;采用導(dǎo)軌和滑塊結(jié)構(gòu),使得整個(gè)裝置更為穩(wěn)定,能有效防止軸向跳動(dòng);設(shè)置的防水組件,能有效避免支撐裝置被冷卻液污染,延遲使用壽命。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的主視圖。
圖2為本實(shí)用新型的俯視圖。
圖3為本實(shí)用新型的三維示意圖。
圖4為本實(shí)用新型托住硅棒后的三維示意圖。
圖5為本實(shí)用新型中氣缸的示意圖。
圖中的附圖標(biāo)記為:1氣缸;2支撐側(cè)板;3直線導(dǎo)軌;4浮動(dòng)接頭;5支撐塊;6滾輪組件;7風(fēng)琴護(hù)罩;8支撐防水板;9安裝座;10滑塊;11側(cè)防水板;12支撐底板。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
如圖1至圖4所示的一種用于單晶硅棒截?cái)嗟淖詣?dòng)支撐裝置包括安裝座9、支撐底板12、直線導(dǎo)軌3、滑塊10、支撐塊5、滾輪組件6、氣缸1、浮動(dòng)接頭4、支撐側(cè)板2、防水組件,用于支撐硅棒。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





