[實用新型]一種用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置

有效

• 申請號: 201720005938.1
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN206349350U
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 曹建偉;沈文杰;盧嘉彬;吳兵兵;邱文杰;楊思煒;何守龍;羅世銘;邱敏秀
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置，用于支撐硅棒，其特征在于，所述用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置包括安裝座、支撐底板、直線導軌、滑塊、支撐塊、滾輪組件、氣缸、浮動接頭、支撐側板、防水組件；

所述安裝座為焊接件，且安裝座的兩側對稱各開有兩個螺孔；所述支撐底板通過螺釘連接在安裝座上，支撐底板前后對稱開有四個螺孔，兩條平行直線導軌通過螺釘安裝在支撐底板上，每條直線導軌上安裝有一組滑塊，每組滑塊包括兩個滑塊，使滑塊能沿著直線導軌左右移動；

所述支撐塊設有兩個，每塊支撐塊分別通過螺釘安裝在兩個設置在不同直線導軌的滑塊上方；支撐塊有一個斜面，且兩個支撐塊的斜面相對；

所述支撐側板設有兩塊，分別安裝在安裝座的左右兩側，且每塊支撐側板的中間開有通孔；所述氣缸設有兩個，分別采用螺釘對稱安裝在兩側的支撐側板上，且兩側氣缸的活塞桿能分別穿過對應支撐側板的中間通孔，與對應的浮動接頭的一端連接，浮動接頭的另一端與一塊支撐塊連接，使兩個支撐塊能在對應氣缸的驅動下，進行相互分離和靠近動作；

所述滾輪組件設有兩組，每組包括至少兩個滾輪，兩組滾輪組件分別通過螺釘對稱安裝在對應的支撐塊斜面上，用于配合支撐硅棒，且硅棒能在滾輪上隨著兩組滾輪滾動進行前后移動；

所述防水組件包括側防水板、風琴護罩、支撐防水板；側防水板設有兩組，一塊支撐塊上安裝一組側防水板，每組側防水板包括兩塊側防水板，且分別采用螺釘對稱安裝在兩個支撐塊的前后兩側；風琴護罩設有三個，分別采用螺釘安裝在左側的支撐側板和左側的支撐塊之間、兩個支撐塊之間、右側的支撐塊和右側的支撐側板之間；支撐防水板設有兩塊，分別采用螺釘前后對稱安裝在直線導軌的兩側。

2.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置，其特征在于，所述氣缸采用端鎖氣缸。

3.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置，其特征在于，所述支撐塊的斜面角度能根據硅棒外徑尺寸的不同進行調節，用于貼合硅棒。

4.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅棒截斷的自動支撐裝置，其特征在于，所述每組滾輪組件包括三個滾輪。