[發明專利]絕對濕度傳感器、熱敏電阻及熱敏電阻的制作方法

在審

• 申請號: 201711494556.0
• 申請日: 2017-12-31
• 公開（公告）號: CN108461237A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 張賓
• 申請（專利權）人: 廣州奧松電子有限公司
• 主分類號: H01C7/00
• 分類號: H01C7/00;G01N27/12;H01C17/00
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 邵穗娟;湯喜友

本發明提供絕對濕度傳感器，包括：第一測量單元和第二測量單元，第一測量單元包括裸露的熱敏電阻，第二測量單元包括封閉型的熱敏電阻，第一測量單元中的熱敏電阻與第二測量單元中的熱敏電阻串聯；熱敏電阻包括基板、絕緣膜層、微熱板層，絕緣膜層構造在基板上，微熱板層構造在絕緣膜層上；第一測量單元中的熱敏電阻與空氣中的水分子直接接觸，第二測量單元中的熱敏電阻不與空氣中的水分子接觸，計算第一測量單元中的熱敏電阻的阻值與第二測量單元中的熱敏電阻的阻值差，根據阻值差求出空氣中水蒸氣的密度。本發明的絕對濕度傳感器通過熱敏電阻迅速感應到空氣濕度的變化使絕對濕度傳感器本身的響應速度很快，提高了絕對濕度傳感器的靈敏度。

技術領域

本發明涉及傳感器領域，尤其涉及絕對濕度傳感器、熱敏電阻及熱敏電阻的制作方法。

背景技術

日常生活中,空氣中的水蒸氣的多少不但會影響空氣的濕度，而且會使空氣出現潮濕或者干燥的現象。而空氣的真實的干濕程度，通常用空氣中水蒸氣的密度來表示，也叫做環境絕對濕度。

絕對濕度傳感器正是用來測量空氣真實的干濕程度，傳感器適用于熱電廠、塑料、干燥設備、冷藏室、冷凍機等工業領域及農業、科研、氣象等行業,具有穩定性好、可靠性高、精確度高、線性一致性以及重復性好、使用壽命長、測量范圍寬等特點。

市面上目前絕對濕度傳感器部分的工藝是采用玻璃密封熱敏電阻作為濕度感應原件，將兩個熱敏電阻封裝在一起，其中一個電阻與空氣接觸，另外一個封閉起來做對比，通過玻璃密封熱敏電阻的阻值變化來測量空氣中的絕對濕度，即水蒸氣的密度。但是市面上的上述絕對濕度傳感器的熱敏電阻存在以下缺點：

因為玻璃隔熱，外層的玻璃部分會減小熱敏電阻對外界溫度的響應，然而絕對濕度傳感器正是需要電阻與空氣中的水分進行接觸，產生熱量抵消，才可以更靈敏的速度進行濕度信號的反饋，因為其工藝結構的影響，導致響應速度非常緩慢，加熱至穩定的時間甚至需要數十秒鐘；而且正常使用中由于其響應速度偏慢，所以靈敏度較低。綜上，目前市面上的絕對濕度傳感器響應速度偏慢、靈敏度較低。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本發明的目的之一在于提供熱敏電阻，其能解決目前市面上的絕對濕度傳感器響應速度偏慢、靈敏度較低的問題。

本發明的目的之二在于提供熱敏電阻的制作方法，其能解決目前市面上的絕對濕度傳感器響應速度偏慢、靈敏度較低的問題。

本發明的目的之三在于提供絕對濕度傳感器，其能解決目前市面上的絕對濕度傳感器響應速度偏慢、靈敏度較低的問題。

本發明的目的之一采用以下技術方案實現：

熱敏電阻，其特征在于包括：基板、兩絕緣膜層、微熱板層以及保護層，所述基板位于兩所述絕緣膜層之間，所述微熱板層位于所述絕緣層和所述保護層之間，一所述絕緣膜層位于所述基板和所述微熱板層之間，所述保護層上設置有兩密封孔，外部引線通過所述密封孔與所述微熱板層連接。

進一步地，所述保護層為氮化硅或氧化硅或含有氮化硅和氧化硅的復合膜。

進一步地，所述基板為硅基板。

進一步地，所述微熱板層為鉑板。

進一步地，所述基板中部鏤空。

進一步地，所述基板中的鏤空處為四邊形。

本發明的目的之二采用以下技術方案實現：

絕對濕度傳感器中熱敏電阻的制作方法，包括以下步驟：

S1：將基板進行熱氧化；

S2：通過低壓化學氣相沉積法，在進行熱氧化后的所述基板表面生長一層絕緣膜；

S3：在所述絕緣膜層刻蝕出掩膜，將所述掩膜覆蓋在絕緣膜層上非微熱板層的區域；