[發明專利]激光顯微切割裝置及其工作方法

在審

• 申請號: 201711492569.4
• 申請日: 2017-12-30
• 公開（公告）號: CN108165489A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 胡舜迪;郭榮;聞路紅;陳瑞強;陳臘
• 申請（專利權）人: 寧波華儀寧創智能科技有限公司;寧波大學
• 主分類號: C12M1/42
• 分類號: C12M1/42;C12M1/36;C12M3/00;B23K26/38;B23K26/402
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光顯微切割裝置，所述激光顯微切割裝置包括激光器、物鏡；其特征在于：所述激光顯微切割裝置進一步包括：

反射鏡，所述激光器發出的切割光被所述反射鏡反射到所述物鏡；

調節單元，所述調節單元條所述切割光在所述反射鏡上的入射角；所述調節單元包括：

弧形導軌，出光模塊設置在所述弧形導軌上；

第一電機，所述第一電機驅動所述弧形導軌旋轉；

出光模塊，所述切割光從所述出光模塊射出；

驅動模塊，所述出光模塊在所述驅動模塊驅動下沿著所述弧形導軌移動，所述切割光的方向沿著所述弧形導軌的徑向。

2.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述調節單元進一步包括：

支架，所述弧形導軌、第一電機和驅動模塊固定在所述支架上。

3.根據權利要求2所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述驅動模塊包括：

彈簧，所述彈簧的一端固定在所述支架上，另一端固定在所述出光模塊上；

連接繩，所述連接繩的一端固定在所述出光模塊上，另一端繞在所述第二電機的轉軸上；

第二電機，所述第二電機和彈簧分別處于所述出光模塊的兩側。

4.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述激光顯微切割裝置進一步包括：

角度傳感器，所述角度傳感器設置在所述反射鏡的背對反射面的一側；所述切割光的部分透過所述反射鏡并被所述角度傳感器接收。

5.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述激光顯微切割裝置進一步包括：

箱體，所述反射鏡固定在所述箱體內；

入射孔、第一出射孔和第二出射孔設置在所述箱體上；所述切割光穿過所述入射孔到達反射鏡的反射面，反射光穿過所述第一出射孔到達所述物鏡；可見光依次穿過所述第一出射孔、反射鏡和第二出射孔。

6.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述激光顯微切割裝置進一步包括：

光傳輸介質，所述激光器發出的切割光通過所述光傳輸介質傳導，所述光傳輸介質的一端與所述出光模塊相對固定。

7.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述出光模塊包括準直鏡。

8.根據權利要求1所述的激光顯微切割裝置，其特征在于：所述切割光的波長為1400nm-1500nm。

9.根據權利要求1-8任一所述的激光顯微切割裝置的工作方法，所述工作方法包括以下步驟：

(A1)在第一電機驅動下，弧形導軌旋轉；

在驅動模塊驅動下，出光模塊在弧形導軌上移動；

(A2)激光器發出的切割光從出光模塊射出，切割光的出射方向沿著所述弧形導軌的徑向；

(A3)不同入射角度的切割光被反射鏡反射，反射光入射到物鏡的同一點。

10.根據權利要求9所述的工作方法，其特征在于：步驟(A3)包括以下步驟：

(A31)切割光穿過入射孔進入箱體內，被反射鏡反射；

(A32)反射光穿過第一出射孔以射出箱體，并入射到物鏡上；

可見光穿過所述第一出射孔進入箱體內，之后穿過所述反射鏡，透射光穿過第二出射孔以射出箱體。