[發明專利]芯片輻照裝置

在審

• 申請號: 201711491183.1
• 申請日: 2017-12-30
• 公開（公告）號: CN108133764A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 顧曉明;肖林
• 申請（專利權）人: 中廣核中科海維科技發展有限公司
• 主分類號: G21K5/10
• 分類號: G21K5/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種芯片輻照裝置，包括掃描窗以及位于掃描窗下方的束下裝置，所述束下裝置包括工作臺面、機械主體以及驅動機構，所述驅動機構設置在所述機械主體內，所述驅動機構包括直線導軌、滾珠絲桿以及帶動所述滾珠絲桿轉動的動力源；所述直線導軌與所述滾珠絲桿螺紋連接，所述工作臺面固定在所述直線導軌上并與所述直線導軌同步運動。本發明芯片輻照裝置，束下裝置的導軌系統采用高精度的滾動直線導軌，動作靈敏，啟動力矩小，采用預緊滾珠絲杠加兩組軸向推力可調滾動軸承，高低速運動平穩，保證束下裝置具有穩定的運動精度，提高了束下裝置機械主體的運動穩定性，維護簡單。

技術領域

本發明涉及電子直線加速器技術領域，具體應用于芯片輻照裝置。

背景技術

輻照用電子直線加速器的應用非常廣泛，可用于食品、保健品、醫療器械、可控硅芯片等。而其中效益最高的則是可控硅芯片的輻照。芯片輻照單片價格高、輻照時間短，小小幾片的輻照價格就相當于輻照食品之類一噸的價格。但高利潤的同時也預示著高要求，芯片在輻照時對輻照劑量的穩定性和均勻性要求特別高。在加速器束流穩定的情況下，這些要素就需要束下裝置來保證。傳統的束下裝置都是滾筒型或者履帶式。這兩種束下系統在運行時，前進速度不均勻，而且上下左右都會有輕微波動。這些在輻照食品之類的可忽略，但在輻照芯片時確是致命的，會導致芯片整個面所受到的劑量不均勻，造成報廢，從而帶來非常大的損失。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對上述現有技術存在的不足，而提供一種輻照量穩定均勻的芯片輻照裝置。

為解決上述技術問題，本發明采用如下技術方案：

一種芯片輻照裝置，包括掃描窗以及位于掃描窗下方的束下裝置，所述束下裝置包括工作臺面、機械主體以及驅動機構，所述驅動機構設置在所述機械主體內，所述驅動機構包括直線導軌、滾珠絲桿以及帶動所述滾珠絲桿轉動的動力源；所述直線導軌與所述滾珠絲桿螺紋連接，所述工作臺面固定在所述直線導軌上并與所述直線導軌同步運動。

所述直線導軌與所述機械主體之間設置有滾輪或滾針。

所述滾珠絲桿采用兩組軸向推力可調滾動軸承固定。

所述動力源包括伺服電機。

采用PLC控制器控制所述伺服電機。

本發明芯片輻照裝置，束下裝置的導軌系統采用高精度的滾動直線導軌，動作靈敏，啟動力矩小，采用預緊滾珠絲杠加兩組軸向推力可調滾動軸承，高低速運動平穩，保證束下裝置具有穩定的運動精度，提高了束下裝置機械主體的運動穩定性，維護簡單。采用集中潤滑系統，適時供油，保證使用壽命。

傳動機構采用滾珠絲桿運動副，把電機的旋轉運動轉化為輻照床的直線運動，以代替原有系統的鏈條裝置，改善鏈條裝置的不均勻性。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

其中：1、機械主體；2、工作臺面；3、直線導軌；4、滾珠絲桿；5、傳動機構；6、伺服電機；7、調整墊；8、控制模塊借口；9、掃描窗；10、鋁板。

具體實施方式

如圖1所示，本發明芯片輻照裝置，包括掃描窗9以及束下裝置，掃描窗9在束下裝置的正上方，束流通過掃描窗9出來是長1.2m，寬1cm的均勻電子束線。芯片放置在束下裝置的工作臺面2上，勻速通過，則芯片表面所受輻照劑量一致。

束下裝置主要包括：機械主體1、工作臺面2和驅動機構。

工作臺面2尺寸為2×1米，厚度16mm，采用鋁合金材料，承重不小于50kg/m²，行程是2米，在行程范圍內能任意設定行程距離，實現往返運動。