[發明專利]芯片輻照裝置在審

申請號：	201711491183.1	申請日：	2017-12-30
公開（公告）號：	CN108133764A	公開（公告）日：	2018-06-08
發明（設計）人：	顧曉明;肖林	申請（專利權）人：	中廣核中科海維科技發展有限公司
主分類號：	G21K5/10	分類號：	G21K5/10
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	226300 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	束下裝置直線導軌輻照裝置機械主體驅動機構工作臺面滾珠絲桿芯片掃描窗滾動軸承滾動直線導軌滾珠絲桿螺紋運動穩定性導軌系統動作靈敏滾珠絲杠啟動力矩同步運動軸向推力動力源高低速可調兩組預緊轉動保證維護
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.芯片輻照裝置，包括掃描窗以及位于掃描窗下方的束下裝置，所述束下裝置包括工作臺面、機械主體以及驅動機構，所述驅動機構設置在所述機械主體內，所述驅動機構包括直線導軌、滾珠絲桿以及帶動所述滾珠絲桿轉動的動力源；所述直線導軌與所述滾珠絲桿螺紋連接，所述工作臺面固定在所述直線導軌上并與所述直線導軌同步運動。

2.根據權利要求1所述的芯片輻照裝置，其特征在于：所述直線導軌與所述機械主體之間設置有滾輪或滾針。

3.根據權利要求1所述的芯片輻照裝置，其特征在于：所述滾珠絲桿采用兩組軸向推力可調滾動軸承固定。

4.根據權利要求1所述的芯片輻照裝置，其特征在于：所述動力源包括伺服電機。

5.根據權利要求4所述的芯片輻照裝置，其特征在于：采用PLC控制器控制所述伺服電機。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中廣核中科海維科技發展有限公司，未經中廣核中科海維科技發展有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711491183.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。