[發(fā)明專利]光波導(dǎo)元件及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711480957.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109975924B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊智仁;黃莉婷;陳東森;呂奇明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): G02B6/122
• 分類號(hào): G02B6/122;G02B6/12;G02B6/136
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 秦劍

一種光波導(dǎo)元件，包括下包覆層、核心層及上包覆層，核心層置于下包覆層及上包覆層之間。下包覆層的組成物包括不可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺及片狀粘土，其中下包覆層之片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的組成物包括可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺及片狀粘土，其中核心層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。上包覆層的組成物包括聚合物及片狀粘土，其中上包覆層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的折射率大于上包覆層及下包覆層的折射率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種光波導(dǎo)元件及其制造方法，且特別是有關(guān)于一種包括片狀粘土的光波導(dǎo)元件。

背景技術(shù)

近年來(lái)，資訊通訊領(lǐng)域技術(shù)快速發(fā)展，高速且高密度數(shù)據(jù)通訊的光通訊技術(shù)進(jìn)步顯著，高速、高容量的訊號(hào)傳輸元件的開(kāi)發(fā)扮演重要角色，而其中光學(xué)訊號(hào)的處理及傳輸是極為重要的一環(huán)，而光波導(dǎo)(Optical waveguide)是指用來(lái)引導(dǎo)光波傳遞的介質(zhì)，為了使光的行進(jìn)依照所需要的方向傳遞，光波導(dǎo)元件通過(guò)其中不同的材料、形狀及結(jié)構(gòu)等不同折射率達(dá)到傳遞光訊號(hào)的效果。

光波導(dǎo)元件系通過(guò)核心層及包覆層形成折射界面，通過(guò)該界面反射而傳送光，因應(yīng)現(xiàn)今輕巧的通訊產(chǎn)品需求，輕薄且光傳輸品質(zhì)優(yōu)異的光波導(dǎo)元件開(kāi)發(fā)乃是當(dāng)務(wù)之急。

發(fā)明內(nèi)容

本揭露是有關(guān)于一種光波導(dǎo)元件及其制造方法。根據(jù)本揭露一實(shí)施例，提供一種光波導(dǎo)元件。光波導(dǎo)元件包括下包覆層、核心層及上包覆層。核心層設(shè)置于下包覆層與上包覆層之間。下包覆層的組成物包括不可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺(polyimide)及片狀粘土(clay)，其中下包覆層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的組成物包括可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺及片狀粘土，其中核心層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。上包覆層的組成物包括聚合物及片狀粘土，其中上包覆層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的折射率大于上包覆層及下包覆層的折射率。

根據(jù)本揭露的一方面，提供一種光波導(dǎo)元件的制造方法。該方法包括下列步驟：提供下包覆層、涂布核心層于下包覆層上，蝕刻核心層，以及涂布上包覆層于下包覆層上且覆蓋核心層。下包覆層的組成物系由包括不可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺及片狀粘土的材料所制成，其中下包覆層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的組成物系由包括可被蝕刻的已閉環(huán)的聚酰亞胺及片狀粘土的材料所制成，其中核心層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。上包覆層的組成物包括聚合物及片狀粘土，其中上包覆層的片狀粘土的重量百分比介于20％至60％之間。核心層的折射率大于上包覆層及下包覆層的折射率。

為了對(duì)本發(fā)明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特舉實(shí)施例，并配合所附圖式詳細(xì)說(shuō)明如下：

附圖說(shuō)明

圖1A至圖1F繪示根據(jù)本揭露的一實(shí)施例的光波導(dǎo)元件的制造方法的剖面圖。

圖2繪示根據(jù)本揭露的一實(shí)施例的光波導(dǎo)材料層中片狀粘土的量與折射率的關(guān)系圖。

圖3A至圖3G繪示根據(jù)本揭露的又一實(shí)施例的光波導(dǎo)材料層的制造方法的剖面圖。

符號(hào)說(shuō)明

10：光波導(dǎo)元件

110、210：基板

120：下包覆層

130、131：核心層

140：上包覆層

212：離型層

230、321：光波導(dǎo)的材料層

240：保護(hù)層

250：第一溶劑

260：第二溶劑

實(shí)施方式