[發明專利]一種L型OLED蒸鍍線源

在審

• 申請號: 201711478068.0
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN108103452A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 林文晶;彭勃
• 申請（專利權）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210
• 代理人: 南小平

本發明涉及一種L型OLED蒸鍍線源，其包括：桶狀坩堝，其內裝填有機材料；氣流平衡管，其與所述桶狀坩堝的上端通過蒸汽導管相連；多個噴嘴，其排成一排設置在所述氣流平衡管的頂端；所述桶狀坩堝內的有機材料被加熱后成為分子蒸汽，然后由氣流平衡管上的多個噴嘴噴出。本發明的L型OLED蒸鍍線源的蒸氣導管、平衡管及噴嘴周圍都布置了加熱絲，使得這些部位在線源工作時保持高溫，而使材料蒸汽分子不會在這些部位固化堆積。速率控制可以通過調節坩堝的加熱絲的溫度或者調節閥的開度來實現。由于坩堝的加熱絲的面積較小，因此系統慣性較小，易于實現速率控制。而速率調節閥的加入可以使速率控制變得更精細、更準確。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種L型OLED蒸鍍線源。

背景技術

現有的量產蒸鍍設備的線源多為“一字型”，顧名思義，一字型線源即一種外形近似漢字“一”的線性蒸發源。如圖1所示，傳統一字型線源的有機材是通過線源主體2頂端的一排水平間隔排布的噴嘴1噴出。一字型線源也可以近似理解為一個長方體，長方體內部添加有機材料，頂端有一排水平間隔排布的噴嘴，當長方體側壁被加熱時，內部有機材料即氣化而從頂端噴嘴處噴出，并最終在基板上沉積成膜。

雖然一字型線源目前應用很廣泛，但是一字型線源由于自身結構限制，存在一些缺點。其中，裝、退材料困難及系統慣性大速率難于控制兩個缺點尤為致命。前者因為一字型線源內部都有一支長條形內坩堝，向內坩堝裝填材料時，很難做到水平方向的均勻。加入材料后需要做端面密封將內坩堝封閉在線源內，這一過程非常繁瑣，且有一定難度。而“系統慣性大速率難于控制”是由于一字型線源全部材料都是平鋪在一字長條形內坩堝中，而內坩堝的側面幾乎都在加熱絲的輻射范圍內。所以升溫降溫都很難控制，因此說其系統慣性大，速率控制困難。

日本ULVAC和韓國SFA公司都申請了一字線源的專利，但是他們提供的線源在實際使用中均存在上述問題。

發明內容

本發明要解決現有技術中的技術問題，提供一種L型OLED蒸鍍線源。

為了解決上述技術問題，本發明的技術方案具體如下：

一種L型OLED蒸鍍線源，包括：

桶狀坩堝，其內裝填有機材料；

氣流平衡管，其與所述桶狀坩堝的上端通過蒸汽導管相連；

多個噴嘴，其排成一排設置在所述氣流平衡管的頂端；

所述桶狀坩堝內的有機材料被加熱后成為分子蒸汽，然后由氣流平衡管上的多個噴嘴噴出。

在上述技術方案中，所述噴嘴的間距從靠近所述桶狀坩堝的一端到遠離所述桶狀坩堝的一端逐漸減小。

在上述技術方案中，所述噴嘴的間距從靠近所述桶狀坩堝的一端到遠離所述桶狀坩堝的一端，依次以90％的比例減小。

在上述技術方案中，所述桶狀坩堝的外圍設有坩堝加熱絲。

在上述技術方案中，所述氣流平衡管的外圍設有加熱絲。

本發明具有以下的有益效果：

本發明的L型OLED蒸鍍線源，設計了一支筒狀坩堝，有機材料裝填在坩堝內，坩堝上端通過法蘭或者螺紋與蒸氣導管連接，拆卸方便。有機材料在坩堝內被加熱后成為分子蒸汽，并向上運動。然后這些蒸汽經過蒸氣導管的導向進入氣流平衡管，最后又由平衡管頂部的噴嘴噴出而在基板上沉積成膜。這樣的設計，改變了傳統“一字線源”長條坩堝內的平鋪材料正對著噴嘴的結構，因此避免了傳統“一字線源”速率穩定性及膜厚均勻性受加料平坦度影響的弊端。