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[發明專利]一種L型OLED蒸鍍線源在審

專利信息
申請號: 201711478068.0 申請日: 2017-12-29
公開(公告)號: CN108103452A 公開(公告)日: 2018-06-01
發明(設計)人: 林文晶;彭勃 申請(專利權)人: 上海升翕光電科技有限公司
主分類號: C23C14/26 分類號: C23C14/26;C23C14/12
代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210 代理人: 南小平
地址: 201506 上海市金*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 坩堝 氣流平衡管 速率控制 加熱絲 桶狀 線源 蒸鍍 有機材料 噴嘴 材料蒸汽 系統慣性 蒸氣導管 蒸汽導管 噴嘴噴 平衡管 上端 裝填 開度 固化 加熱 蒸汽 堆積 精細
【權利要求書】:

1.一種L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,包括:

桶狀坩堝(5),其內裝填有機材料;

氣流平衡管(3),其與所述桶狀坩堝(5)的上端通過蒸汽導管相連;

多個噴嘴(1),其排成一排設置在所述氣流平衡管(3)的頂端;

所述桶狀坩堝(5)內的有機材料被加熱后成為分子蒸汽,然后由所述氣流平衡管(3)上的多個噴嘴(1)噴出。

2.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述噴嘴(1)的間距從靠近所述桶狀坩堝(5)的一端到遠離所述桶狀坩堝(5)的一端逐漸減小。

3.根據權利要求2所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述噴嘴(1)的間距從靠近所述桶狀坩堝(5)的一端到遠離所述桶狀坩堝(5)的一端,依次以90%的比例減小。

4.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述桶狀坩堝(5)的外圍設有坩堝加熱絲。

5.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述氣流平衡管(3)的外圍設有加熱絲。

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