[發明專利]一種L型OLED蒸鍍線源在審
| 申請號: | 201711478068.0 | 申請日: | 2017-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN108103452A | 公開(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發明(設計)人: | 林文晶;彭勃 | 申請(專利權)人: | 上海升翕光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/26 | 分類號: | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 南小平 |
| 地址: | 201506 上海市金*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 坩堝 氣流平衡管 速率控制 加熱絲 桶狀 線源 蒸鍍 有機材料 噴嘴 材料蒸汽 系統慣性 蒸氣導管 蒸汽導管 噴嘴噴 平衡管 上端 裝填 開度 固化 加熱 蒸汽 堆積 精細 | ||
1.一種L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,包括:
桶狀坩堝(5),其內裝填有機材料;
氣流平衡管(3),其與所述桶狀坩堝(5)的上端通過蒸汽導管相連;
多個噴嘴(1),其排成一排設置在所述氣流平衡管(3)的頂端;
所述桶狀坩堝(5)內的有機材料被加熱后成為分子蒸汽,然后由所述氣流平衡管(3)上的多個噴嘴(1)噴出。
2.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述噴嘴(1)的間距從靠近所述桶狀坩堝(5)的一端到遠離所述桶狀坩堝(5)的一端逐漸減小。
3.根據權利要求2所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述噴嘴(1)的間距從靠近所述桶狀坩堝(5)的一端到遠離所述桶狀坩堝(5)的一端,依次以90%的比例減小。
4.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述桶狀坩堝(5)的外圍設有坩堝加熱絲。
5.根據權利要求1所述的L型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述氣流平衡管(3)的外圍設有加熱絲。
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