[發(fā)明專利]硅片輸送系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711475890.1
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN107993970A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱其偉;董曉清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫市江松科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片輸送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前在使用太陽(yáng)能硅片制絨、刻蝕、擴(kuò)散等機(jī)對(duì)太陽(yáng)能硅片進(jìn)行處理的過(guò)程中，上下料臺(tái)往往需要通過(guò)人工進(jìn)行，將一疊硅片通過(guò)人工或機(jī)械的方式導(dǎo)入花籃中，然后人工將花籃轉(zhuǎn)移至上料臺(tái)上，花籃中經(jīng)過(guò)處理工藝后，將被傳送至下料臺(tái)，然后人工轉(zhuǎn)移至下料導(dǎo)片機(jī)。

這個(gè)過(guò)程一般依賴人工，導(dǎo)致產(chǎn)能低的同時(shí)，人工操作過(guò)程中容易損壞硅片以及對(duì)硅片造成污染。而現(xiàn)有的上料導(dǎo)片機(jī)及下料導(dǎo)片機(jī)通常是吸盤式的，吸盤可以固定在一個(gè)六軸機(jī)械手上，六軸機(jī)械手行程方式復(fù)雜，且六軸機(jī)械手量程有限，因此一個(gè)六軸機(jī)械手一般可以同時(shí)運(yùn)載兩到三個(gè)硅片運(yùn)載軌道上的硅片，效率較低。若要增加軌道數(shù)量，則需要增加六軸機(jī)械手的量程，成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種機(jī)械化程度高、且布局合理，可以提高六軸機(jī)械手效率的硅片輸送系統(tǒng)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種硅片輸送系統(tǒng)，包括花籃上下料機(jī)構(gòu)、用于固定花籃且?guī)?dòng)花籃上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)以及硅片運(yùn)載軌道，每個(gè)硅片運(yùn)載軌道的一端伸入一個(gè)升降機(jī)構(gòu)的花籃中取片，另一端設(shè)置有硅片緩存機(jī)構(gòu)，且伸入該硅片緩存機(jī)構(gòu)中將硅片運(yùn)載至硅片緩存機(jī)構(gòu)中，硅片運(yùn)載軌道的端部外側(cè)還設(shè)置與之垂直的石墨舟軌道以及石墨舟，在石墨舟軌道的外側(cè)還設(shè)置有一個(gè)六軸機(jī)械手，六軸機(jī)械手的端部設(shè)有吸盤組件，所述硅片運(yùn)載軌道的數(shù)量為四個(gè)，互相平行且端部對(duì)齊，所述六軸機(jī)械手的底座到外側(cè)的兩個(gè)硅片運(yùn)載軌道的距離相等，其到內(nèi)側(cè)的兩個(gè)硅片運(yùn)載軌道的距離也相同，硅片緩存機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有個(gè)多個(gè)硅片槽用于放置硅片，所述吸盤組件上設(shè)置與若干個(gè)吸盤，吸盤的間距與硅片緩存機(jī)構(gòu)內(nèi)的硅片槽的間距相同，且吸盤可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外側(cè)的兩個(gè)硅片運(yùn)載軌道上的硅片緩存機(jī)構(gòu)可延硅片運(yùn)載軌道方向前后移動(dòng)設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述花籃上下料機(jī)構(gòu)包括載片花籃軌道和空花籃軌道，所述載片花籃軌道位于空花籃軌道正上方，升降機(jī)構(gòu)位于花籃上下料機(jī)構(gòu)的端部，升降機(jī)構(gòu)中設(shè)置有花籃固定裝置以及上下滑軌，花籃固定裝置可在上下滑軌上下滑動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述石墨舟軌道的兩側(cè)設(shè)置有可沿垂直石墨舟軌道方向來(lái)回移動(dòng)的用于固定石墨舟的限位機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所限機(jī)構(gòu)包括滑軌以及支架，支架在絲桿作用下可沿滑軌滑動(dòng)，支架上設(shè)置有若干個(gè)水平的導(dǎo)柱，導(dǎo)柱的另一個(gè)端固定設(shè)置限位條上，該限位條豎直設(shè)置，導(dǎo)柱位于支架與限位條之間的部分套裝有彈簧，且導(dǎo)柱與支架滑動(dòng)配合。

進(jìn)一步的，位于外側(cè)兩個(gè)硅片運(yùn)載軌道上的硅片緩存機(jī)構(gòu)包括豎直導(dǎo)軌以及可在豎直導(dǎo)軌上進(jìn)行上下滑動(dòng)的底座，在底座上設(shè)置有水平滑軌以及收料盒，收料盒可在絲杠作用下沿水平滑軌滑動(dòng)，收料盒中設(shè)置有硅片槽用于緩存硅片。

進(jìn)一步的，所述吸盤包括吸盤本體，吸盤本體上設(shè)置有若個(gè)中空部，中空部從吸盤本體的正面貫穿至反面，每個(gè)中空部中設(shè)置有一個(gè)吸嘴，吸嘴的拐角處通過(guò)掛鉤彈簧連接吸盤本體，吸嘴的吸附面與掛鉤彈簧擺動(dòng)軌跡形成的平面垂直設(shè)置，吸盤本體的頂部設(shè)置有一個(gè)主氣道，主氣道連接若干個(gè)氣嘴，氣嘴通過(guò)氣管連通吸嘴，所述吸盤本體上設(shè)置有若干個(gè)凹槽，氣嘴位于凹槽中且與凹槽一一對(duì)應(yīng)，凹槽連通中空部，所述吸盤本體的上頂面還設(shè)置有兩個(gè)螺孔，用于將吸盤本體固定在外部設(shè)備上。

從上述技術(shù)方案可以看出本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：六軸機(jī)械手的最大量程可以為其到內(nèi)側(cè)兩個(gè)硅片運(yùn)載軌道的距離，當(dāng)需要運(yùn)載外側(cè)硅片運(yùn)載軌道上的硅片時(shí)，絲杠將硅片緩存機(jī)構(gòu)上的收料盒推出，縮短收料盒和六軸機(jī)械手的距離，當(dāng)取片完成，收料盒歸位，不阻礙機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)，從而提高整體的工作效率，布局合理，減少設(shè)備占地體積，且本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)硅片裝載進(jìn)入石墨舟的自動(dòng)化運(yùn)動(dòng)，減少人工。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明俯視圖；

圖3為本發(fā)明中升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明中限位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明中硅片緩存機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明中吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說(shuō)明。