[發明專利]基板保持器、縱式基板輸送裝置以及基板處理裝置在審
| 申請號： | 201711472810.7 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN108300975A | 公開（公告）日： | 2018-07-20 |
| 發明（設計）人： | 岡正;箱守宗人;織井雄一 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 張晶;謝順星 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板 基板保持器 基板輸送裝置 相對面 周緣部 框體 吸附 縱式 基板處理裝置 靜電吸附 立起姿勢 裝卸 | ||
1.一種基板保持器，其用于縱式基板輸送裝置，能夠以立起姿勢保持基板，所述基板保持器具備框體和吸附部，
所述框體具有在所述基板的厚度方向上與所述基板的周緣部相對的相對面，
所述吸附部設置在所述相對面，且構成為能夠靜電性地吸附所述基板的周緣部的至少一部分。
2.根據權利要求1所述的基板保持器，其特征在于，
所述框體還具有框狀的掩膜部，該掩膜部劃定所述基板的成膜區域，
所述相對面設置在與所述基板的周緣部相對的所述掩膜部的一部分上。
3.根據權利要求1或2所述的基板保持器，其特征在于，
所述吸附部具有設置在所述相對面上的多個卡盤區域，
所述多個卡盤區域分別含有卡盤用電極。
4.根據權利要求3所述的基板保持器，其特征在于，還具備電源電路，該電源電路設置在所述框體，并能夠向所述多個卡盤區域供給電力。
5.根據權利要求4所述的基板保持器，其特征在于，所述電源電路具有能夠個別地向所述多個卡盤區域供給電力的控制部。
6.一種縱式基板輸送裝置，其具備基板保持器、和輸送單元，
所述基板保持器具有：框體，其具有在所述基板的厚度方向上與基板的周緣部相對的相對面；吸附部，其設置在所述相對面，且構成為能夠靜電性地吸附所述基板的周緣部的至少一部分，
所述輸送單元以立起姿勢輸送所述基板保持器。
7.一種基板處理裝置，其具備基板保持器、輸送單元、和處理單元，
所述基板保持器具有：框體，其具有在所述基板的厚度方向上與基板的周緣部相對的相對面；吸附部，其設置在所述相對面，且構成為能夠靜電性地吸附所述基板的周緣部的至少一部分，
所述輸送單元以立起姿勢輸送所述基板保持器，
所述處理單元對由所述基板保持器所保持的所述基板進行處理。
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