[發(fā)明專利]一種便攜式高加速宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711468380.1
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN107979223A
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張璐凡;李勤良;田海龍;馮偉;楊麗彥;陳晨;李雪麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H02K7/06
• 分類號(hào): H02K7/06;H02K7/116
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙)11548
• 代理人: 李靜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于微電子制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種便攜式高加速宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

背景技術(shù)

當(dāng)前作為關(guān)鍵裝備的宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)已經(jīng)為微電子產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展和生產(chǎn)力的提高提供了重要的技術(shù)支持，特別在引線鍵合以及光刻等微電子制造領(lǐng)域內(nèi)，更為其發(fā)展提供了有力的動(dòng)力支持。目前，為了完成宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的高速和超精密定位等目標(biāo)，往往提供相對(duì)大體積的宏動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)完成目標(biāo)，而兩個(gè)直線電機(jī)并聯(lián)驅(qū)動(dòng)使占有空間大，無法縮減，這常常是忽略考慮設(shè)備空間資源的情況下進(jìn)行的，進(jìn)而造成空間布局被動(dòng)以及不合理，甚至產(chǎn)生生產(chǎn)效率低下及資源浪費(fèi)現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供的一種便攜式高加速宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該便攜式宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)解決了并聯(lián)驅(qū)動(dòng)電機(jī)占用大量空間而無法節(jié)省整機(jī)空間和成本的問題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種便攜式高加速宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括底座，底座上設(shè)置有平臺(tái)底座，平臺(tái)底座上設(shè)置有X軸平臺(tái)，X軸平臺(tái)上設(shè)置有Y軸平臺(tái)，其特征在于：所述底座的中間位置設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸上固定設(shè)置有齒輪，平臺(tái)底座的中間位置設(shè)置有平臺(tái)底座通孔，平臺(tái)底座上面設(shè)置有貫穿X軸方向的臺(tái)階，X軸平臺(tái)的中間位置設(shè)置有X軸平臺(tái)通孔，X軸平臺(tái)的下面的設(shè)置有貫穿X軸方向的臺(tái)階和凹槽，X軸平臺(tái)的凹槽一側(cè)面設(shè)置有X軸齒條，X軸平臺(tái)的上面設(shè)置有貫穿Y軸方向的臺(tái)階，Y軸平臺(tái)的下面的設(shè)置有貫穿Y軸方向的臺(tái)階和凹槽，Y軸平臺(tái)的凹槽一側(cè)面設(shè)置有Y軸齒條，Y軸平臺(tái)的上方設(shè)置有XY微動(dòng)平臺(tái)，XY微動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有X軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和Y軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，X軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和Y軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器通過柔性鉸鏈與XY微動(dòng)平臺(tái)連接，X軸平臺(tái)與平臺(tái)底座之間的臺(tái)階處設(shè)置有X軸第一導(dǎo)軌副和X軸第二導(dǎo)軌副，X軸平臺(tái)與Y軸平臺(tái)之間的臺(tái)階處設(shè)置有Y軸第一導(dǎo)軌副和Y軸第二導(dǎo)軌副，齒輪同時(shí)與X軸齒條和Y軸齒條嚙合。

所述的平臺(tái)底座通孔和X軸平臺(tái)通孔可供齒輪穿過。

所述的平臺(tái)底座的上平面沿X方向的兩端設(shè)置有X軸第一光柵尺和X軸第二光柵尺，X軸平臺(tái)的上平面沿Y方向的兩端設(shè)置有Y軸第一光柵尺和Y軸第二光柵尺，X軸平臺(tái)的前后側(cè)面對(duì)中設(shè)置有X軸第一光柵尺讀頭和X軸第二光柵尺讀頭，Y軸平臺(tái)的左右側(cè)面對(duì)中設(shè)置有Y軸第一光柵尺讀頭和Y軸第二光柵尺讀頭，各光柵尺讀頭與光柵尺一一對(duì)應(yīng)。

所述的Y軸平臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)矩形通孔。

所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)正、反運(yùn)動(dòng)。

所述的各導(dǎo)軌副為滑動(dòng)導(dǎo)軌副。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果如下：

1、該便攜式宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用了旋轉(zhuǎn)電機(jī)同時(shí)驅(qū)動(dòng)X軸平臺(tái)和Y軸平臺(tái)，解決了傳統(tǒng)平臺(tái)占用大量空間而無法節(jié)省整機(jī)空間和成本的問題；

2、采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)齒輪、齒條嚙合，使X/Y軸平臺(tái)的高加速直線運(yùn)動(dòng)，使平臺(tái)能實(shí)現(xiàn)快速定位；

3、宏、微平臺(tái)的聯(lián)動(dòng)，在精度誤差補(bǔ)償?shù)幕A(chǔ)上實(shí)現(xiàn)超精密定位。

附圖說明

圖1為一種便攜式高加速宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為旋轉(zhuǎn)電機(jī)的連接示意圖。

圖3為平臺(tái)底座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為X軸平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為Y軸平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-旋轉(zhuǎn)電機(jī)，2-底座，3-平臺(tái)底座，4- X軸齒條，5- X軸第一導(dǎo)軌副，6-X軸平臺(tái)，7- X軸第二導(dǎo)軌副，8- Y軸平臺(tái)，9- X軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，10- XY微動(dòng)平臺(tái)，11-Y軸壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，12- Y軸第一導(dǎo)軌副，13-Y軸齒條，14- Y軸第二導(dǎo)軌副，15-齒輪，16-輸出軸，17- X軸第一光柵尺，18-平臺(tái)底座通孔，19- X軸第二光柵尺，20- Y軸第一光柵尺，21- X軸第一光柵尺讀頭，22- X軸平臺(tái)通孔， 23- Y軸第二光柵，24- X軸第二光柵尺讀頭，25- Y軸第一光柵尺讀頭，26-柔性鉸鏈，27- Y軸第二光柵尺讀頭。

具體實(shí)施方式